西南交通大学羊坤获国家专利权
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龙图腾网获悉西南交通大学申请的专利一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120060800B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510243941.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜及制备方法是由羊坤;刘伟;姜欣;冷永祥设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜及制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜及制备方法。制备方法包括以下步骤：采用高功率脉冲磁控溅射方法，以Fe、Co、Ni、Cr四种元素的金属条拼接在一起做为溅射靶材，以高纯Ar和含碳气源为工作气体，对表面清洗处理后的基体施加负偏压，对金属拼接靶施加靶电压，进行高熵纳米复合薄膜沉积；待高熵纳米复合薄膜沉积完毕后，在真空环境下冷却至80℃以下，放气开腔出炉，即在基体表面获得具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜。该薄膜的成分按照原子百分比为：Fe、Co、Ni、Cr四种金属分别为5～35at.％，碳原子为10～40at.％，以上组分的原子百分比之和为100％。本发明通过成分设计与工艺创新，实现高硬度、高韧性、耐腐蚀性与自支撑性能的协同优化。
本发明授权一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 采用高功率脉冲磁控溅射方法，以Fe、Co、Ni、Cr四种元素的金属条拼接在一起做为溅射靶材，以高纯Ar和含碳气源为工作气体，对表面清洗处理后的基体施加负偏压，对金属拼接靶施加靶电压，进行高熵纳米复合薄膜沉积； 基体偏压为-100V～0V；金属拼接靶的溅射功率为4～8Wcm2；工作气体Ar流量为10～90sccm，溅射镀膜过程中腔体内气压保持为0.2～2.0Pa；沉积时间20min～80min； 所述含碳气源为乙炔，乙炔流量为1～4sccm； 待高熵纳米复合薄膜沉积完毕后，在真空环境下冷却，然后放气开腔出炉，即在基体表面获得具有自支撑性能的高熵纳米复合薄膜。
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