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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119666221B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411825798.3，技术领域涉及：G01L5/1627；该发明授权一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置是由吴剑威;李一帆;赵博;高席丰;王继尧设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置，涉及半导体制造装备技术领域，基于步进式运动机构的对外反力测量装置包括步进式运动机构、大理石平台和二维力传感器机构，步进式运动机构包括支撑框架、负载、Y向执行机构和X向执行机构，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，二维力传感器机构设置于支撑框架与大理石平台之间，大理石平台上均匀分布有多个第一气浮孔。本发明的基于步进式运动机构的对外反力测量装置，相比于现有技术，可以精准测量步进式运动机构工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，通过计算可以进一步保证步进式运动机构的运动及测量精度。

本发明授权一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置，其特征在于，包括：步进式运动机构、大理石平台（2）和二维力传感器机构（3），所述步进式运动机构包括支撑框架（1）、负载（4）、Y向执行机构（6）和X向执行机构（5），所述负载（4）设置于所述Y向执行机构（6）上，所述Y向执行机构（6）设置于所述X向执行机构（5）上，所述X向执行机构（5）设置于所述支撑框架（1）上，所述支撑框架（1）设置于所述大理石平台（2）上，多个所述二维力传感器机构（3）间隔设置于所述支撑框架（1）与所述大理石平台（2）之间，所述大理石平台（2）朝向所述支撑框架（1）的端面上均匀分布有多个第一气浮孔（21），所述第一气浮孔（21）用于在所述支撑框架（1）与所述大理石平台（2）之间形成气膜，以将所述支撑框架（1）和所述步进式运动机构浮起；所述二维力传感器机构（3）包括二维力传感器（31）、高度调节件（32）和法兰连接盘（33），所述二维力传感器（31）的两端分别与所述高度调节件（32）和所述大理石平台（2）连接，所述法兰连接盘（33）的一端与所述高度调节件（32）连接，另一端与所述支撑框架（1）连接；所述二维力传感器机构（3）还包括轴承（34），所述高度调节件（32）包括螺纹凸起（321）以及与所述螺纹凸起（321）螺纹连接的螺母结构（322），所述螺纹凸起（321）连接于所述二维力传感器（31），所述轴承（34）安装在所述法兰连接盘（33）上，所述法兰连接盘（33）与所述轴承（34）的外圈连接，所述螺母结构（322）与所述轴承（34）的内圈连接；所述大理石平台（2）呈矩形结构，所述大理石平台（2）的四角处分别开设有凹槽，且每个所述凹槽处对应设置有所述二维力传感器机构（3）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学，其通讯地址为：150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。