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深圳宝宏嘉电子科技有限公司李天平获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳宝宏嘉电子科技有限公司申请的专利一种晶圆研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223251253U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422589349.5,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种晶圆研磨装置是由李天平设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及电子芯片加工技术领域,具体涉及一种晶圆研磨装置,包括底座、研磨机构、升降机构、收集机构和循环机构,循环机构与底座固定连接,升降机构与底座固定连接,研磨机构与底座固定连接,收集机构包括限位轨道、滑座、马达、滑轮和收集筒,现设置的收集筒在滑座和滑轮的滑动下,实现对研磨液中细小颗粒的收集处理,该设计操作简单,解决了过滤板长期使用后堆积的细微颗粒不便于清理,需工作人员手动清理,耗费较多时间的问题。

本实用新型一种晶圆研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆研磨装置,包括底座、研磨机构、升降机构和循环机构,所述循环机构与所述底座固定连接,并位于所述底座的内壁,所述升降机构与所述底座固定连接,并位于所述底座的内底部,所述研磨机构与所述底座固定连接,并位于所述底座的上方,其特征在于, 还包括收集机构,所述收集机构包括限位轨道、滑座、马达、滑轮和收集筒,所述收集筒与所述滑座可拆卸连接,并位于所述滑座的一侧,所述滑轮与所述马达的输出端固定连接,所述马达与所述滑座固定连接,并位于所述滑座的下方,所述滑座与所述限位轨道活动连接,并位于所述限位轨道的上方,所述限位轨道与所述底座固定连接,并位于所述底座的上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳宝宏嘉电子科技有限公司,其通讯地址为:518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道平湖社区华南城铁东物流区11栋1116/1117;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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