江西水晶光电有限公司林鸳获国家专利权
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龙图腾网获悉江西水晶光电有限公司申请的专利一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422542969.3，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板是由林鸳;羊彦;欧阳小安;周琛;郑伟;王建龙;熊祖超;石文旭设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板，包括：支撑部；第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和第二连接件上下间隔且水平旋转安装在支撑部上；离子源挡板，具有分别安装在所述第一连接件和第二连接件上的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板以支撑部为旋转中心进行开合进而对离子源挡板面积进行调整。第一连接件和第二连接件与支撑部的旋转安装，可以对第一挡板和第二挡板进行开合来调整离子源挡板的面积，进而可以针对不同镀膜机离子源位置进而调整，确保离子源挡板可以对不稳定离子进行完全遮挡，不会轰击到基板或膜层；且第一挡板和第二挡板组合的形式可以调整扩大整个离子源挡板的面积。
本实用新型一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板在权利要求书中公布了：1.一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板，其特征在于，包括： 支撑部1； 第一连接件2和第二连接件3，所述第一连接件2和第二连接件3上下间隔且水平旋转安装在支撑部1上； 离子源挡板4，具有分别安装在所述第一连接件2和第二连接件3上的第一挡板41和第二挡板42，所述第一挡板41和第二挡板42以支撑部1为旋转中心进行开合进而对离子源挡板4面积进行调整。
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