应用材料以色列公司D·阿尔蒙特获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利半导体样本的检查获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115023731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080094814.X,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权半导体样本的检查是由D·阿尔蒙特;S·埃尔卡亚姆;S·科恩设计研发完成,并于2020-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体样本的检查在说明书摘要公布了:提供了使用检查配方来检查半导体样本的系统和方法。所述方法包括以下步骤:获得配准的图像对;针对与给定层相关联的每个基于设计的结构元件:计算边缘属性;使用经训练的分类器来确定基于设计的结构元件的类别;以及产生可用于确定配准的图像对的有效性的层分数。还提供了产生可用于检查半导体样本的检查配方的系统和方法。
本发明授权半导体样本的检查在权利要求书中公布了:1.一种使用检查配方来检查半导体样本的计算机化系统,所述系统包括处理器和存储器电路系统PMC,所述处理器和存储器电路系统PMC被配置为: 获得配准的图像对,所述配准的图像对包括第一图像和第二图像,所述第一图像由检查工具所捕获且代表所述半导体样本的至少部分,所述第二图像基于表征所述样本的所述至少部分的设计数据来产生,所述第二图像包括与所述设计数据中的设计层对应的一个或多个层,所述第二图像提供所述设计数据中所呈现的一个或多个基于设计的结构元件的信息,每个基于设计的结构元件与所述基于设计的结构元件所在的相应层相关联; 针对与所述一个或多个层中的给定层相关联的每个基于设计的结构元件: 计算边缘属性,所述边缘属性与所述基于设计的结构元件相关联且指示在所述第二图像中的基于设计的结构元件的边缘的位置处的所述第一图像中的基于图像的结构元件的边缘的估算存在;以及 使用被包括在所述检查配方中的经训练的分类器基于与所述基于设计的结构元件相关联的所述边缘属性,来确定所述基于设计的结构元件的类别,所述类别指示在所述基于设计的结构元件的所述位置处的所述第一图像与所述第二图像之间的配准的有效性;以及 针对所述给定层基于与所述给定层相关联的每个基于设计的结构元件的所述类别来产生层分数,所述分数可用于基于所述检查配方中所预定的层阈值来确定所述配准的图像对的有效性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列瑞哈佛特市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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