连城凯克斯科技有限公司王学卫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉连城凯克斯科技有限公司申请的专利硬轴重载硅单晶提拉装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111962141B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010970479.7,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权硬轴重载硅单晶提拉装置是由王学卫;李占贤;李方;曹玉宝;尹嘉琦设计研发完成,并于2020-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本硬轴重载硅单晶提拉装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种硬轴重载硅单晶提拉装置,包括支撑结构、单晶体承重外硬轴且其底部安装有单晶体卡爪、籽晶承重内硬轴且其底部安装有籽晶卡头、用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动的旋转驱动装置、用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降的外硬轴升降装置和用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降的内硬轴升降装置。本发明实现了内硬轴和外硬轴的同步旋转运动、外硬轴的单独升降运动和内硬轴的单独升降运动,具有较强的强度和刚度,能够承载500Kg以上重量的单晶体,弥补软轴提拉装置承载能力不足、避免软轴提拉装置中的软轴摆动和单摆共振现象,能够克服热场对称性偏差、气流激励作用力对称性偏差等方面引起的晶体扰动。
本发明授权硬轴重载硅单晶提拉装置在权利要求书中公布了:1.一种硬轴重载硅单晶提拉装置,其特征在于,包括: 支撑结构,竖直固定在真空炉室顶部; 单晶体承重外硬轴,其为中空结构,并竖直安装在所述支撑结构中,且其底部穿入所述真空炉室内,所述单晶体承重外硬轴内壁加工有竖直延伸的花键槽; 籽晶承重内硬轴,竖直设置在所述单晶体承重外硬轴内,所述籽晶承重内硬轴的外壁具有与所述花键槽配合的花键;通过所述花键和所述花键槽实现单晶体承重外硬轴和所述籽晶承重内硬轴之间的上下滑动连接和周向能够同步运动; 单晶体卡爪,与所述单晶体承重外硬轴的底部固定连接,用于夹持单晶体的小肩部; 籽晶卡头,与所述籽晶承重内硬轴底部固定连接,用于固定所述单晶体顶部的籽晶; 旋转驱动装置,安装在所述支撑结构内,且位于所述单晶体承重外硬轴的上方,用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动; 外硬轴升降装置,安装在所述支撑结构顶部,用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降; 内硬轴升降装置,安装在所述支撑结构内,用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降; 所述外硬轴升降装置包括: 四根竖直设置的滑轨,所述支撑结构的横截面呈正方形,且四根所述滑轨分别安装在所述支撑结构的四个角处; 滑座,安装在所述单晶体承重外硬轴的上部,且所述单晶体承重外硬轴轴向穿过所述滑座,所述滑座与所述单晶体承重外硬轴轴向固定连接,并通过磁流体实现与所述单晶体承重外硬轴之间的周向转动连接,所述滑座的四个角分别与四根所述滑轨滑动连接; 两个外硬轴升降驱动装置,对称安装在所述支撑结构的顶部两侧; 所述外硬轴升降驱动装置包括: 蜗杆减速器,固定安装在所述支撑结构的外壁,且所述蜗杆减速器的输出端安装有外硬轴主动带轮; 行星减速器,其输出端与所述蜗杆减速器的输入端连接; 外硬轴伺服电机,其输出端与所述行星减速器的输入端连接; 外硬轴丝杠,竖直安装在所述支撑结构内,其丝杆的顶部固定有外硬轴从动带轮,且丝杆穿过所述滑座,丝杠螺母与所述滑座固定连接; 同步齿形带,用于连接所述外硬轴主动带轮和所述外硬轴从动带轮。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人连城凯克斯科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。