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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113874985B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080038502.7，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的存储介质是由日野出大辉;江户徹;筱原健介设计研发完成，并于2020-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的存储介质在说明书摘要公布了：为了提高基板的质量，基板处理装置具有基板保持部、第一驱动部、药液喷出部、杯部、第二驱动部以及控制部。基板保持部以水平姿势保持具有第一面以及与该第一面相反的第二面的基板。第一驱动部使基板保持部以假想轴为中心旋转。药液喷出部朝向由基板保持部保持的基板的第一面喷出药液。杯部围绕基板保持部的周围。第二驱动部使杯部相对于基板保持部的上下方向中的相对位置变化。控制部一边执行药液处理一边通过第二驱动部使杯部相对于基板保持部的上下方向中的相对位置变化，该药液处理为：一边通过第一驱动部使基板保持部以假想轴为中心旋转，一边使药液喷出部朝向由基板保持部保持的基板的第一面喷出药液来对第一面实施处理。

本发明授权基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，具有： 基板保持部，以水平姿势保持基板，所述基板具有第一面以及与所述第一面相反的第二面， 第一驱动部，使所述基板保持部以假想轴为中心旋转， 药液喷出部，朝向由所述基板保持部保持的所述基板的所述第一面喷出药液， 杯部，围绕所述基板保持部的周围， 第二驱动部，使所述杯部相对于所述基板保持部的上下方向中的相对位置变化，以及 控制部，一边执行药液处理一边通过所述第二驱动部使所述杯部相对于所述基板保持部的所述上下方向中的相对位置变化，在所述药液处理中，一边通过所述第一驱动部使所述基板保持部以所述假想轴为中心旋转，一边使所述药液喷出部朝向由所述基板保持部保持的所述基板的所述第一面喷出所述药液来对所述第一面实施处理， 所述控制部在从开始执行所述药液处理的第一时刻起至结束执行所述药液处理的第二时刻为止的药液处理期间，以如下方式进行控制：从通过所述第二驱动部使所述杯部相对于所述基板保持部的所述上下方向中的相对位置向下方向移动开始，在所述药液处理期间的开始至结束的期间，通过所述杯部中的一个杯构件接住从所述基板飞散的所述药液。

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