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株式会社尼康柴崎祐一获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利加工装置及加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115519240B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211383444.9,技术领域涉及:B23K26/08;该发明授权加工装置及加工方法是由柴崎祐一设计研发完成,并于2018-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。

加工装置及加工方法在说明书摘要公布了:本发明的加工装置具备:第1载台系统,其具有载置工件W的平台12,且使保持于平台的工件移动;光束照射系统500,其包含射出光束LB的聚光光学系统530;以及控制装置,其控制第1载台系统及照射系统;一边使平台与来自聚光光学系统的光束相对移动,一边对工件的目标部位进行加工,且可变更聚光光学系统的射出面侧的第1面MP上的光束的强度分布、及聚光光学系统的光轴AX方向上的位置与第1面不同的第2面上的光束的强度分布的至少一者。

本发明授权加工装置及加工方法在权利要求书中公布了:1.一种加工装置,其一边使工件与光束相对移动一边照射该光束来对该工件进行加工,所述加工装置具备: 光束照射系统,其包含射出所述光束的聚光光学系统; 所述光束照射系统具有光学元件,所述光学元件可变更所述聚光光学系统的射出面侧的加工面上的所述光束的强度分布、及所述聚光光学系统的光瞳面上的所述光束的剖面强度分布; 通过所述光学元件进行的所述光瞳面上的所述光束的剖面强度分布的变更,包含所述光瞳面上的所述光束的剖面形状的变更; 所述光瞳面上的所述光束的剖面形状于至少一部分具有直线状的边缘,且可变更为: 所述直线状的边缘的一部分沿着在所述光瞳面上通过所述光瞳面的中心的第1假想轴线、和在所述光瞳面上通过所述光瞳面的中心且与所述第1假想轴线正交的第2假想轴线的至少一者的第1形状;以及 所述直线状的边缘不沿着所述第1假想轴线与所述第2假想轴线的任何一个的第2形状。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社尼康,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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