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东京毅力科创株式会社佐佐木康晴获国家专利权

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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114512391B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210089374.X,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权等离子体处理装置是由佐佐木康晴;石川聪;千叶谅设计研发完成,并于2017-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

等离子体处理装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种等离子体处理装置,能够抑制由贯通孔引起的异常放电的发生。等离子体处理装置具有:静电卡盘,其具有载置被处理体的载置面和与所述载置面相对的背面,在该静电卡盘形成有贯通所述载置面和所述背面的第一通孔;以及基台,其具有支承所述静电卡盘的支承面,在该基台形成有与所述第一通孔连通的第二通孔,在该第一通孔和第二通孔内具有嵌入构件,其中,所述嵌入构件的与所述静电卡盘的所述第一通孔和所述基台的所述第二通孔的连通部分对应的部分至少由弹性构件形成。

本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了:1.一种等离子体处理装置,其特征在于,具有: 静电卡盘,其具有载置被处理体的载置面和与所述载置面相对的背面,在该静电卡盘形成有贯通所述载置面和所述背面的第一通孔;以及 基台,其具有支承所述静电卡盘的支承面,在该基台形成有与所述第一通孔连通的第二通孔,在该第一通孔和第二通孔内具有嵌入构件, 其中,所述嵌入构件的与所述静电卡盘的所述第一通孔和所述基台的所述第二通孔的连通部分对应的部分至少由弹性构件形成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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