四川知微传感技术有限公司周瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉四川知微传感技术有限公司申请的专利用于电容式MEMS传感器的CV检测电路和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120176740B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510657714.8,技术领域涉及:G01D5/24;该发明授权用于电容式MEMS传感器的CV检测电路和方法是由周瑞;王岩;张恒基;罗鹏;范宏斌设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于电容式MEMS传感器的CV检测电路和方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于电容式MEMS传感器的CV检测电路和方法,涉及传感器领域,用于提升CV检测电路的测量精度。CV检测电路的电容阵列电路的检测电极用于与电容式MEMS传感器的敏感检测结构相连,并连接到放大器电路;放大器电路、解调电路和滤波电路依次连接;时钟供电电源连接时钟生成电路;时钟生成电路产生两相不交叠的第一时钟信号和第二时钟信号,第一时钟信号接入解调电路,第二时钟信号接入电容阵列电路。本发明实现了对微小电容变化量的精确测量,节省了面积开销。
本发明授权用于电容式MEMS传感器的CV检测电路和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于电容式MEMS传感器的CV检测电路,其特征在于,包括电容阵列电路(CARR)、时钟生成电路(CLKGEN)、时钟供电电源(LDO)、放大器电路(AMP)、解调电路(CHOPPER)和滤波电路(LPF);所述时钟供电电源连接所述时钟生成电路(CLKGEN);所述时钟生成电路(CLKGEN)产生两相不交叠的第一时钟信号(CLK)和第二时钟信号(CLKB),所述第一时钟信号(CLK)接入所述解调电路(CHOPPER)作为解调时钟,所述第二时钟信号(CLKB)接入所述电容阵列电路(CARR)作为调制时钟;所述电容阵列电路(CARR)的第一检测电极(ST)和第二检测电极(SB)分别与电容式MEMS传感器的敏感检测结构的等效电容Cs1和Cs2相连,并连接到所述放大器电路(AMP);所述敏感检测结构的等效电容Cs1和Cs2构成差分电容;所述电容阵列电路(CARR)包括连接第一检测电极(ST)的第一电容组,以及连接第二检测电极(SB)的第二电容组;所述第一电容组和所述第二电容组分别连接到公共端,所述公共端接入所述第二时钟信号(CLKB);所述第一电容组和所述第二电容组均包括粗调电容电路和精调电容支路,所述粗调电容电路和所述精调电容支路并联;所述粗调电容电路包括相互并联的两组可调电容,该两组可调电容中,第一组可调电容的调整步长大于第二组可调电容的调整步长,该两组可调电容均由二进制电容阵列组成,第一组可调电容用于匹配电容的粗调整,第二组可调电容用于匹配电容的精调整;所述精调电容支路包括相互串联的数模转换器和固定电容;所述放大器电路(AMP)、解调电路(CHOPPER)和滤波电路(LPF)依次连接。
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