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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120043642B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525684.5，技术领域涉及：G01J5/53；该发明授权高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法是由马法君;左志耀;黄呈;刘明军设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种高温半导体设备测温的温度标定方法和光学测温方法，温度标定方法包括：提供标准热源、滤光装置、光强检测装置和主控装置，主控装置预存有用于对高温半导体设备测温所采用的光电探测装置的波长响应函数；通过滤光装置和光强检测装置对标准热源在不低于700摄氏度的不同设定温度下所出射的热辐射进行光强度测定，得到对应的各光谱响应函数；通过主控装置根据波长响应函数以及各光谱响应函数，得到修正中心波长。该方法通过重新标定滤光装置中心波长，避免单一依赖滤光装置制造商提供参数的局限性，能够更真实地反映滤光装置在实际使用中的性能，从而有利于测温准确性。

本发明授权高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种高温半导体设备测温的温度标定方法，其特征在于，所述温度标定方法包括： 提供标准热源、滤光装置、光强检测装置、主控装置和预存有初始电压-温度对应函数的光电探测装置，所述主控装置预存有用于对所述高温半导体设备测温所采用的光电探测装置的波长响应函数； 通过所述滤光装置和所述光强检测装置对所述标准热源在不低于700摄氏度的不同设定温度下所出射的热辐射进行光强度测定，得到对应的各光谱响应函数； 通过所述主控装置根据所述波长响应函数以及各所述光谱响应函数得到各所述设定温度所对应的修正中心波长，再通过各所述修正中心波长通过平均值法计算得到所述修正中心波长； 所述修正中心波长的计算公式为： ； 其中，min~max为所述光电探测装置的工作波长范围； 通过所述光电探测装置对所述标准热源在不同测定温度下所出射的热辐射进行光电探测，并转换为对应的各原始电压信息； 通过所述主控装置根据所述修正中心波长、各所述原始电压信息及预存的电压响应函数进行修正处理，得到修正电压响应函数； 通过所述主控装置根据电压信息和所述修正电压响应函数得到测定温度； 所述电压响应函数为： 其中，C和为常数，为所述滤光装置的标定中心波长。

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