蓝河科技(绍兴)有限公司马法君获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120043643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525687.9，技术领域涉及：G01J5/53；该发明授权低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法是由马法君;左志耀;黄呈;刘明军设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法，该温度标定方法的光强测定系统和光电测定系统包含同一滤光装置，并均预存有与波长变化量参数和光通量参数相关的电压响应函数，通过光强测定系统对标准热源进行光强测定和计算处理得到滤光装置的参考中心波长，再控制标准热源分步升温以及通过光电测定系统进行拟合计算得到波长变化量参数和光通量参数，根据参考中心波长和波长变化量参数得到修正中心波长，根据光通量参数、波长变化量参数和修正中心波长得到新电压响应函数，减少或避免因低温测量热辐射强度低以及滤光片因加工精度原因不可避免的会造成的测温不准问题。
本发明授权低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种低温半导体设备测温的温度标定方法，其特征在于，包括： S0：提供标准热源、光强测定系统和光电测定系统，所述光强测定系统和所述光电测定系统包含同一滤光装置，并均预存有电压响应函数，其中T为温度，F为光通量参数，为波长变化量参数； S1：通过所述光强测定系统获取所述标准热源在不超过700摄氏度的不同设定温度下所分别出射的热辐射并进行光强测定和计算处理，得到所述滤光装置的参考中心波长值； S2：控制所述标准热源分步升温至不超过700摄氏度的不同测试设定温度，通过所述光电测定系统获取并根据各测试设定温度所分别出射测试热辐射的测试电压信息、所述参考中心波长和所述电压响应函数进行拟合计算得到F值、和，所述为值，为步骤S2中解算的常量； S3：根据所述参考中心波长值和所述值之和得到的修正中心波长；根据所述F值、所述参考中心波长和所述得到新电压响应函数E（T）为。
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