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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所梁旭获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120063129B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510515081.7,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置是由梁旭;刘兆武;李文昊;陈丹怡;王玮;尹志宇设计研发完成,并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置在说明书摘要公布了:本发明涉及光栅干涉测量领域,尤其涉及一种基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置,第一分光棱镜位于单频激光光源的出射光路上,用于将激光光束分为参考光和测量光。光学参考元件位于参考光的光路上,用于使参考光返回至第一分光棱镜。测量光栅位于测量光的光路上,用于接收测量光,并产生衍射光,使衍射光返回至第一分光棱镜。相机位于第一分光棱镜的出射光路上,返回至第一分光棱镜的至少两束参考光和至少两束衍射光经过第一分光棱镜,并入射至相机。相机用于捕获参考光和衍射光干涉形成的干涉条纹。计算机连接于相机,计算机用于根据干涉条纹的变化,确定测量光栅的位姿变化。在保证能够实现多自由度位姿测量的同时,光路结构的设计更加简单。

本发明授权基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置在权利要求书中公布了:1.一种基于光栅干涉条纹的多自由度测量装置,其特征在于,包括: 单频激光光源,用于出射激光光束; 第一分光棱镜,位于所述单频激光光源的出射光路上,用于将所述激光光束分为参考光和测量光; 光学参考元件,位于所述参考光的光路上,用于使所述参考光返回至所述第一分光棱镜; 测量光栅,位于所述测量光的光路上,用于接收所述测量光,并产生衍射光,使所述衍射光返回至所述第一分光棱镜;衍射光包括+1级衍射光和-1级衍射光;相机用于捕获一束所述参考光和所述+1级衍射光干涉形成的第一组干涉条纹,以及另一束所述参考光和所述-1级衍射光干涉形成的第二组干涉条纹; 相机,位于所述第一分光棱镜的出射光路上,返回至所述第一分光棱镜的至少两束所述参考光和至少两束所述衍射光经过所述第一分光棱镜,并入射至所述相机;所述相机用于捕获所述参考光和所述衍射光干涉形成的干涉条纹; 计算机,连接于所述相机,所述计算机用于根据所述干涉条纹的变化,确定所述测量光栅的位姿变化;所述测量光栅的位姿变化包括角度变化,所述角度变化包括偏航角变化、俯仰角变化和滚转角变化,所述偏航角变化是指所述测量光栅绕第一方向X进行转动的角度,所述俯仰角变化是指所述测量光栅绕第三方向Y进行转动的角度,所述滚转角变化是指所述测量光栅绕第二方向Z进行转动的角度;所述计算机用于确定所述干涉条纹的光强分布情况,并对所述干涉条纹进行频谱分析,以确定当前时刻的所述干涉条纹的当前空间频率、以及在所述测量光栅处于初始位置的初始时刻的初始空间频率;根据所述当前空间频率和所述初始空间频率,对所述测量光栅的角度变化进行解算;所述测量光栅的位姿变化包括位移变化,所述位移变化包括所述测量光栅沿第一方向X的位移变化和沿第二方向Z的位移变化;所述计算机用于确定所述干涉条纹的光强分布情况,并对所述干涉条纹进行频谱分析,以提取当前时刻至初始时刻之间每帧的相位,并对每帧的相位进行解包裹处理,以得到所述当前时刻的所述干涉条纹的当前相位,与所述初始时刻的所述干涉条纹的初始相位的相位差;根据所述相位差,对所述测量光栅的位移变化进行解算。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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