上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司吕晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种研磨液检测设备及研磨液供液系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223265455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422591446.8，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种研磨液检测设备及研磨液供液系统是由吕晓东;闫海勇设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨液检测设备及研磨液供液系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨液检测设备及研磨液供液系统，其中，研磨液检测设备包括检测单元、数据处理单元和连接管；连接管的一端与所述检测单元连接，所述检测单元用于对研磨液内的研磨颗粒进行检测，得到检测数据；所述数据处理单元与所述检测单元电连接，用于处理所述检测数据。本实用新型提供的研磨液检测设备可以将研磨液导入至检测单元中进行检测，得到检测数据，数据处理单元接收检测数据后对其进行处理分析，用于判断研磨液中的颗粒物的大小及含量是否标准，当研磨液中的大尺寸的颗粒物含量较多时，数据处理单元可以及时反馈至工作人员，避免研磨的过程中损坏晶圆，从而提高了晶圆研磨的可靠性，增加了生产效率，降低了生产成本。
本实用新型一种研磨液检测设备及研磨液供液系统在权利要求书中公布了：1.一种研磨液检测设备，其特征在于，包括检测单元、数据处理单元和连接管； 所述连接管的一端与所述检测单元连接，所述连接管的另一端用于连接研磨液的供液管道，所述检测单元用于对研磨液内的研磨颗粒进行检测，得到检测数据； 所述数据处理单元与所述检测单元电连接，用于处理所述检测数据。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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