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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种浮动扭矩传递组件、机械手及晶圆载具升降传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223265675U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422591353.5，技术领域涉及：B25J11/00；该实用新型一种浮动扭矩传递组件、机械手及晶圆载具升降传输设备是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种浮动扭矩传递组件、机械手及晶圆载具升降传输设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种浮动扭矩传递组件、机械手及晶圆载具升降传输设备，涉及半导体设备技术领域，应用于晶圆载具升降传输设备，晶圆载具升降传输设备包括腔体，腔体内设置连杆组件，连杆组件具有一个装配部，用于传递动力，驱动连杆组件伸出或缩回，浮动扭矩传递组件包括固定设置的支撑单元；驱动单元；浮动单元；定义适配部的升降路径为柔性装配区，柔性装配区具有一位置和第二位置，在连杆组件沿Z轴方向上升或下降时，驱动单元与所述连杆组件在所述第一位置至所述第二位置的行程内逐步完成装配。本发明至少能够解决现有技术中连杆组件与浮动扭矩传递组件装配时发生刚性碰撞而导致其连接处发生损坏的问题。

本实用新型一种浮动扭矩传递组件、机械手及晶圆载具升降传输设备在权利要求书中公布了：1.一种浮动扭矩传递组件，应用于晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体100，所述腔体100内设置连杆组件200，所述连杆组件200具有一个装配部211，用于传递动力，驱动所述连杆组件200伸出或缩回，所述连杆组件200在所述腔体100内沿Z轴方向运动，其特征在于，所述浮动扭矩传递组件包括： 固定设置的支撑单元310； 驱动单元400，沿Z轴方向活动设置于所述支撑单元310，所述驱动单元400包括动力源420和转轴410，所述动力源420具有一个转子端，所述转轴410一端与所述转子端连接，所述转轴410另一端连接有适配部411，所述适配部411与所述装配部211连接； 浮动单元340，设置于所述驱动单元400与所述支撑单元310之间，所述浮动单元340使所述驱动单元400沿Z轴方向上升； 定义所述适配部411的升降路径为柔性装配区350，所述柔性装配区350具有第一位置351和第二位置352；在所述装配部211沿Z轴方向上升或下降时，所述适配部411对所述装配部211提供与所述装配部211的运动方向相同或相反的力； 其中，所述装配部211在所述腔体100内沿Z轴方向下降的过程中，所述装配部211与所述适配部411在第一位置351接触，所述适配部411自所述第一位置351下降至所述第二位置352的过程中，在所述浮动单元340的限制下，所述适配部411对所述装配部211提供沿Z轴方向向上的力，使所述驱动单元400与所述连杆组件200在所述第一位置351至所述第二位置352的行程内逐步完成装配。

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