北京确安科技股份有限公司俞辉获国家专利权
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龙图腾网获悉北京确安科技股份有限公司申请的专利晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119087184B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411242457.3,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质是由俞辉设计研发完成,并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆测试技术领域,具体公开一种晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质,该方法包括:获取待测晶圆的MAP图中的失效芯片坐标集合,计算所述失效芯片坐标集合与自身的笛卡尔积,并计算所述笛卡尔积中的每个坐标对的曼哈顿距离;将曼哈顿距离小于第一阈值的坐标对确定为目标坐标对,并对所有的目标坐标对进行并查集合并,判断是否形成失效芯片区域;若形成失效芯片区域,则根据任一失效芯片区域的失效区域类型以及该失效芯片区域的失效芯片数量,检测该失效芯片区域是否存在异常。本发明能够简单高效地实现晶圆区域性失效检测,有助于改进芯片设计和制造过程,提高产品质量和客户满意度。
本发明授权晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆区域性失效检测方法,其特征在于,包括: 获取待测晶圆的MAP图中的失效芯片坐标集合,计算所述失效芯片坐标集合与自身的笛卡尔积,并计算所述笛卡尔积中的每个坐标对的曼哈顿距离; 将曼哈顿距离小于第一阈值的坐标对确定为目标坐标对,并对所有的目标坐标对进行并查集合并,判断是否形成失效芯片区域; 若形成失效芯片区域,则根据任一失效芯片区域的失效区域类型以及该失效芯片区域的失效芯片数量,检测该失效芯片区域是否存在异常; 确定任一失效芯片区域的失效区域类型的步骤,包括: 获取所述任一失效芯片区域中的任一失效芯片坐标分别在不同方向上相距第二阈值的位置坐标,若该失效芯片坐标对应的任一位置坐标处于所述MAP图对应的坐标之外时,将该失效芯片坐标确定为边缘点坐标,直至确定所述任一失效芯片区域中所有的边缘点坐标; 当所述任一失效芯片区域中的边缘点坐标的数量超过第三阈值时,将该失效芯片区域的失效区域类型确定为边缘失效区域,否则,将该失效芯片区域的失效区域类型确定为中心失效区域; 根据任一失效芯片区域的失效区域类型以及该失效芯片区域的失效芯片数量,检测该失效芯片区域是否存在异常的步骤,包括: 当所述任一失效芯片区域的失效区域类型为边缘失效区域时,若该失效芯片区域的失效芯片数量超过第四阈值,则判定该失效芯片区域存在异常,否则,判定该失效芯片区域不存在异常; 当所述任一失效芯片区域的失效区域类型为中心失效区域时,若该失效芯片区域的失效芯片数量超过第五阈值,则判定该失效芯片区域存在异常,否则,判定该失效芯片区域不存在异常。
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