中国科学院上海技术物理研究所周建获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120344044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510813927.5,技术领域涉及:H10F77/45;该发明授权一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法是由周建;周易;应翔霄;王芳芳;陈建新设计研发完成,并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法,其结构包括读出电路层、铟柱互连层、光敏芯片吸收层、空气间隔层、集成铟柱层、金属光栅层、衬底层和超构透镜聚光层。通过超构透镜聚光层和金属光栅层双面对准设计,同时具备对应线偏振光的光汇聚和偏振滤光功能,与焦平面像元对准集成后实现高消光比的红外偏振探测器。
本发明授权一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构及其设计方法在权利要求书中公布了:1.一种聚焦式高消光比红外偏振集成探测器结构,其特征在于,包括自下而上依次设置的: 底部读出电路层1,用于信号读取和处理; 铟柱互连层2,通过倒装焊工艺与所述底部读出电路层1键合连接; 光敏芯片吸收层3,通过所述铟柱互连层2与所述底部读出电路层1实现电学互连,包含呈陈列排布的多个光敏元,用于吸收红外光; 空气间隔层4,设置于所述光敏芯片吸收层3表面; 集成铟柱层5,设置于所述空气间隔层4表面,用于提供结构支撑和电气连接; 金属光栅层6,设置于所述集成铟柱层5之上,包含呈陈列排布的多个线列光栅,每个线列光栅具有0°、45°、90°和135°四种不同偏振取向,且每个线列光栅与下方所述光敏元对准,用于对红外光进行偏振滤光; 衬底层7,设置于所述金属光栅层6之上,为所述金属光栅层6提供支撑; 超构透镜聚光层8,设置于所述衬底层7的另一侧,包含呈陈列排布的多个透镜单元,所述透镜单元的相位分布满足菲涅尔双曲线调控规律,以实现光的相位调控和汇聚; 其中,所述超构透镜聚光层8的每个透镜单元与金属光栅层6的对应线列光栅及光敏芯片层3的光敏元形成垂直的光路通道;所述空气间隔层4的厚度与所述超构透镜聚光层8的焦距相匹配,通过控制所述空气间隔层4的厚度,使入射光经所述超构透镜聚光层8聚焦后汇聚在对应光敏元的有效区域内,从而抑制邻近像元间的光串扰,实现偏振消光比; 所述超构透镜聚光层8的透镜单元包含n个元胞结构,该元胞结构以一个介质柱为核心,介质柱在水平方向上的排列周期为p1,且在两个正交方向上周期相同; 所述介质柱周期大小范围为1~3μm,介质柱的占空比范围为0.1~0.8,介质柱高度范围1~10μm,采用时域有限差分法或有限元方法进行设计,其对应的相位分布按照菲涅尔双曲线型规律: 其中x、y为超构透镜元胞位置,λ为目标波长,n为材料背景的折射率指数,f是设计焦距,Cλ为初相位常数。
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