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龙图腾网获悉南开大学申请的专利一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120253756B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510758987.1，技术领域涉及：G01N21/41；该发明授权一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统是由任梦昕;朱鹏飞;张迪;兀伟;许京军设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光学薄膜折射率及厚度测量技术领域，尤其涉及一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统，方法包括如下步骤：光源形成线偏振光并分解为两束正交偏振光，分别作为信号光及参考光；信号光入射至样品臂，经过待测薄膜样品后，形成包含样品信息的信号光；参考光经过参考臂后形成具有相同光程的参考光；形成合束后并使两束光具有相同的偏振方向；计算待测薄膜样品的透射相位角；遮挡参考臂中的参考光，测量包含样品信息的信号光的光强及不包含样品信息的信号光的光强；计算待测薄膜样品的透射率；计算待测薄膜样品的折射率及厚度。本发明提供的方法及系统能够有效提升测量精度并扩展材料的适用范围。

本发明授权一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法，其特征在于：包括如下步骤： S1：光源经过起偏器后形成线偏振光，并通过偏振分束镜分解为两束正交偏振光，分别作为信号光及参考光； S2：信号光入射至样品臂，经过放置在样品臂内的待测薄膜样品后，基于薄膜上下表面的内反射和法珀腔效应使信号光的振幅及相位改变，形成包含样品信息的信号光； S3：参考光经过参考臂后形成与包含样品信息的信号光具有相同光程的参考光； S4：包含样品信息的信号光与具有相同光程的参考光通过偏振合束镜形成合束后，经过取向的四分之一波片后再经过可调整角度的半波片、检偏棱镜，使两束光具有相同的偏振方向，产生干涉光； S5：调整半波片的快轴方向，并获得相应干涉光的光强，再根据干涉光的光强计算待测薄膜样品的透射相位； S6：遮挡参考臂中的参考光，并将半波片的快轴方向调整为，测量不干涉时包含样品信息的信号光的光强，然后将待测薄膜样品取出，测量不干涉时不包含样品信息的信号光的光强； S7：根据不干涉时包含样品信息的信号光的光强及不干涉时不包含样品信息的信号光的光强计算待测薄膜样品的透射率； S8：基于待测薄膜样品的透射率根据式（3）计算待测薄膜样品的折射率及厚度： （3）； 其中：表示待测薄膜样品的折射率，表示待测薄膜样品的厚度，表示待测薄膜样品的透射相位，表示基底折射率，表示待测薄膜样品的透射率，表示光源发出的光的波长。

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