中国科学院长春光学精密机械与物理研究所杜一民获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利纳米级电容传感器的快速装调装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510751385.3，技术领域涉及：G01B7/02；该发明授权纳米级电容传感器的快速装调装置及方法是由杜一民;白晓泉;许博谦;高雁;匡也;谷茜茜设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米级电容传感器的快速装调装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及电容传感器安装领域，尤其涉及一种纳米级电容传感器的快速装调装置及方法，纳米级电容传感器的快速装调装置包括基座和三个装调工装。基座包括用于放置待测组件的测量块的容纳空间，三个电容传感器探头分别固定于容纳空间的三个内壁，用于测量测量块在三个相互垂直的方向上的位移。三个装调工装分别对应设置于容纳空间的三个内壁，装调工装包括安装部，安装部包括沿第一方向相对设置、且平行的两个安装面，两个安装面中的一者抵接于容纳空间的内壁，另一者抵接于测量块的表面。安装部可拆卸地安装于容纳空间的内壁和测量块的表面之间。如此在保证电容传感器的安装精度要求的同时，可以实现电容传感器的快速装调。
本发明授权纳米级电容传感器的快速装调装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种纳米级电容传感器的快速装调装置，其特征在于，包括： 基座，包括用于放置待测组件的测量块的容纳空间，三个电容传感器探头分别固定于所述容纳空间的三个内壁，用于测量所述测量块在三个相互垂直的方向上的位移，所述基座固定连接于测量基准上，所述待测组件的镜体连接于所述测量块；及 三个装调工装，分别对应设置于所述容纳空间的三个内壁，所述装调工装包括安装部，所述安装部包括沿第一方向相对设置、且平行的两个安装面，所述两个安装面中的一者抵接于所述容纳空间的内壁，另一者抵接于所述测量块的表面；所述安装部可拆卸地安装于所述容纳空间的内壁和所述测量块的表面之间，将三个所述装调工装拆除，以使所述电容传感器探头通过所述基座固定于所述测量基准上，所述测量块固定于所述镜体上，且所述电容传感器探头的表面平行于所述测量块的表面，对所述电容传感器探头与所述测量块之间的间距变化，以实现对镜体位移的监测。
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