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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利用于方形基板抛光的抛光压头、抛光设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120244749B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510740569.X，技术领域涉及：B24B7/24；该发明授权用于方形基板抛光的抛光压头、抛光设备及方法是由谭志亮;刘泳沣;寇明虎;孙占帅设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于方形基板抛光的抛光压头、抛光设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于方形基板抛光的抛光压头、抛光设备及方法，包括：连接板和多个压电组件；其中，多个压电组件设置于连接板，并位于连接板与待抛光的方形基板之间，压电组件具有用于向方形基板传递压力的压力传递面，不同压电组件的压力传递面用于向方形基板的不同抛光区域传递压力，以使抛光过程中根据方形基板的不同抛光区域的速度，调整压电组件的输入电压控制压力传递面传递至方形基板对应抛光区域的压力。本发明实现了使方形基板上具有不同速度的抛光区域也能够保持一致或接近的材料去除率，提高方形基板的材料去除均匀度和表面平整度的技术效果。

本发明授权用于方形基板抛光的抛光压头、抛光设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于方形基板抛光的抛光压头，其特征在于，包括：连接板和多个压电组件；其中， 多个所述压电组件设置于所述连接板，并位于所述连接板与待抛光的方形基板之间，多个压电组件配合方形基板的形状均匀覆盖在方形基板上，方形基板的边角区域和边部的中央区域分别对应独立的压电组件； 至少部分压电组件与方形基板的边角区域直接对应； 压电组件包括压电层、第一压板和连接柱，压电层位于连接板和第一压板之间，压电层通过第一压板向方形基板传递压力； 连接柱的第一端与第一压板固定连接，连接柱的第二端穿过压电层与连接板固定连接，第一压板的刚度大于连接柱的刚度，在压力传递过程中，连接柱在压电层的压力作用下产生轴向的弹性形变，以提供第一压板传递压力时所需的位移量； 所述压电组件具有用于向方形基板传递压力的压力传递面，方形基板具有多个抛光区域，每个抛光区域至少对应一个所述压电组件，不同所述压电组件的所述压力传递面用于向方形基板的不同抛光区域传递压力，以使抛光过程中根据方形基板的不同抛光区域的速度，调整所述压电组件的输入电压控制所述压力传递面传递至方形基板对应抛光区域的压力，使得方形基板达到目标的材料去除率，具体为： 通过以下对应关系，使得方形基板达到目标的材料去除率： ； 其中，为方形基板上与压电组件对应抛光区域的材料去除率，为Preston常数，为方形基板上与压电组件对应抛光区域的速度，为压电组件中压电材料的表面积，为电场为零或常数时压电材料的弹性模量，为压电组件的输入电压，为压电常数，为压电材料的厚度，为压电组件上压力传递面的表面积。

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