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龙图腾网获悉北京北旭电子材料有限公司;北旭(湖北)电子材料有限公司申请的专利一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120233641B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510726110.4，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法及系统是由胡凡华;张腾;李杨;朴大然;卢克军设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法及系统在说明书摘要公布了：本申请提出了一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法及系统，其中方法包括：获得预设胶液配方的旋涂转速区间时序信息和温湿度区间时序信息，结合旋涂转速区间时序信息和温湿度区间时序信息，配置光刻胶生产控制边界条件；统计厚度均匀性系数和表面粗糙度均匀性系数；若厚度均匀性系数满足厚度均匀性阈值，且表面粗糙均匀性系数满足粗糙度均匀性阈值时，通过旋涂转速区间时序信息和温湿度区间时序信息初始化目标光刻胶生产线执行光刻胶制备。本申请解决了现有光刻胶生产控制中，不同光刻胶生产线的设备控制存在微量扰动，导致光刻胶厚度均匀性和表面粗糙度均匀性存在偏差的技术问题，达到了提高光刻胶厚度均匀性和表面粗糙度均匀性的技术效果。

本发明授权一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种提升光刻胶均匀性的光刻胶生产方法，其特征在于，包括： 获得预设胶液配方的旋涂转速区间时序信息和温湿度区间时序信息； 调取目标光刻胶生产线的预设时区生产日志，统计旋涂转速控制扰动阈值和温湿度控制扰动阈值； 根据所述旋涂转速控制扰动阈值和所述温湿度控制扰动阈值，结合所述旋涂转速区间时序信息和所述温湿度区间时序信息，配置光刻胶生产控制边界条件； 统计满足所述光刻胶生产控制边界条件和所述预设胶液配方的光刻胶生产历史样本集的厚度均匀性系数和表面粗糙度均匀性系数，包括： 提取所述光刻胶生产控制边界条件的第一光刻胶生产控制边界条件，其中，所述第一光刻胶生产控制边界条件包括旋涂转速边界值时序信息、温度边界值时序信息和湿度边界值时序信息； 对旋涂转速、温度和湿度进行光刻胶厚度均匀性影响权重分析，获得第一旋涂转速权重、第一温度权重、第一湿度权重，结合所述旋涂转速边界值时序信息、所述温度边界值时序信息和所述湿度边界值时序信息，构建第一索引约束； 对旋涂转速、温度和湿度进行光刻胶表面粗糙度均匀性影响权重分析，获得第二旋涂转速权重、第二温度权重、第二湿度权重，结合所述旋涂转速边界值时序信息、所述温度边界值时序信息和所述湿度边界值时序信息，构建第二索引约束； 检索满足所述第一索引约束和所述预设胶液配方的第一光刻胶生产历史样本集，并计算第一光刻胶生产历史样本集中所有样本的光刻胶厚度均匀性的平均值，得到第一厚度均匀性系数； 检索满足所述第二索引约束和所述预设胶液配方的第二光刻胶生产历史样本集，并计算第二光刻胶生产历史样本集中所有样本的表面粗糙度均匀性的平均值，得到第一表面粗糙度均匀性系数； 将所述第一厚度均匀性系数和所述第一表面粗糙度均匀性系数，添加进所述厚度均匀性系数和所述表面粗糙度均匀性系数； 若所述厚度均匀性系数满足厚度均匀性阈值，且所述表面粗糙度均匀性系数满足粗糙度均匀性阈值时，通过所述旋涂转速区间时序信息和所述温湿度区间时序信息初始化所述目标光刻胶生产线执行光刻胶制备。

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