龙门实验室王新昌获国家专利权
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龙图腾网获悉龙门实验室申请的专利一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120210963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510694508.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺是由王新昌;崔彩霞;贾倩琳设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及单晶硅腐蚀处理技术领域，特别是涉及一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺，腐蚀系统包括腐蚀槽、载料盒和盖板，腐蚀槽内盛载有腐蚀液，腐蚀槽分为内槽和外槽。本发明设置了内槽、外槽和载料盒，在腐蚀作业时，使得外槽内的腐蚀液定向流入到内槽内，并使得内槽内的腐蚀液自下向上流动，使得与单晶硅样品反应后的腐蚀液连同反应产物自下向上，保证单晶硅样品周围的腐蚀液始终是未与单晶硅样品发生反应的腐蚀液，从而保证单晶硅样品周围腐蚀液的浓度尽可能地不变，进而保证腐蚀液的腐蚀速度能够被精准地预测，这样通过控制单晶硅样品在腐蚀液内的浸入时间，便能够精确控制单晶硅样品表面的腐蚀深度和表面形貌。
本发明授权一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅样品腐蚀系统，其特征在于，包括： 腐蚀槽，腐蚀槽内盛载有腐蚀液，腐蚀槽分为内槽和外槽，内槽和外槽的顶部均开口，内槽的上部开设有排液口，内槽的下部开设有连通孔； 载料盒，载料盒的侧下部周向均匀开设有贯通孔，载料盒能够沿竖直方向移动，载料盒用于放置单晶硅样品，载料盒位于内槽内部且载料盒的外侧壁与内槽滑动密封； 盖板，盖板能够沿竖直方向移动，且盖板位于外槽内部并与外槽滑动密封； 腐蚀作业时，载料盒竖直向下移动，使得内槽内部的腐蚀液通过连通孔定向流动到外槽内部，当载料盒竖直移动至贯通孔与连通孔位于相同高度位置时，载料盒停止向下移动，此时盖板竖直向下移动，使得外槽内部的腐蚀液通过连通孔定向流入到载料盒内，同时通过排液口抽吸使得流入到载料盒内部的腐蚀液自下向上定向流动。
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