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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120221471B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510695964.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法是由于贺杰;曹小康;张坤;袁鹏华设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法，其中半导体温控模块TVOC减排系统用于温控模块的TVOC减排，所述温控模块连接有抽排管道，所述抽排管道连接有抽排风机，所述抽排风机通过排废管道与废气处理模块连接，用于将温控模块的TVOC引排至所述废气处理模块进行处理；所述抽排管道和或所述排废管道上设置有TVOC浓度传感器、气体流量计、压力传感器以及流量调节阀，且分别与减排系统的控制模块电连接；所述抽排风机与所述控制模块电连接。本发明能够适用于半导体制造温控模块的TVOC超标处理，尤其适用于因胶水、保温棉和冷却液等的使用导致TVOC超标的温控模块，规避总挥发性有机化合物的超标风险。

本发明授权一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体温控模块TVOC减排系统，用于温控模块的TVOC减排，其特征在于，所述温控模块连接有抽排管道，所述抽排管道连接有抽排风机，所述抽排风机通过排废管道与废气处理模块连接，用于将温控模块的TVOC引排至所述废气处理模块进行处理； 所述抽排管道和或所述排废管道上设置有TVOC浓度传感器、气体流量计、压力传感器以及流量调节阀，且分别与减排系统的控制模块电连接； 所述抽排风机与所述控制模块电连接； 所述温控模块包括温控模块壳体，所述温控模块壳体上设置有百叶窗封板，所述百叶窗封板可拆卸地连接在所述温控模块壳体上，且所述百叶窗封板的百叶窗开度通过调节孔可调； 所述百叶窗封板包括上下分布的两组，每组所述百叶窗封板包括位于上部的横向百叶窗封板，以及位于下部的成对设置的竖向百叶窗封板，所述竖向百叶窗封板设置在所述横向百叶窗封板的横向两端； 所述横向百叶窗封板在横向两端的部位开窗，所述竖向百叶窗封板设置在所述横向百叶窗封板开窗部位的正下方； 所述竖向百叶窗封板的开窗面积大于所述横向百叶窗封板的开窗面积。

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