广东三石园科技有限公司黎凯获国家专利权
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龙图腾网获悉广东三石园科技有限公司申请的专利静电正负压差驱动的微机电装置及其驱动方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120178500B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510647933.8,技术领域涉及:G02B26/08;该发明授权静电正负压差驱动的微机电装置及其驱动方法是由黎凯;徐立斌;吴林洪设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电正负压差驱动的微机电装置及其驱动方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种静电正负压差驱动的微机电装置及其驱动方法,该装置包括第一平板和第二平板;第一平板上设置有沿第一维度布置的第一工作电极和第二工作电极,第二平板上设置有参考电极。另外,微机电装置获取第一输出电源和第二输出电源,第一输出电源和第二输出电源能被选择性的输出至第一工作电极、第二工作电极或者参考电极;其中,第一输出电源和第二输出电源中的一个为直流正电压,第一输出电源和第二输出电源中的另一个为直流负电压。本发明还提供上述微机电装置的驱动方法。本发明能够减少微机电装置的驱动成本,有利于微机电装置的小型化。
本发明授权静电正负压差驱动的微机电装置及其驱动方法在权利要求书中公布了:1.静电正负压差驱动的微机电装置,具有相对设置的第一平板和第二平板,所述第二平板为固定平板,所述第一平板能相对于所述第二平板转动; 所述第一平板上设置有沿第一维度布置的第一工作电极和第二工作电极,所述第二平板上设置有至少一个参考电极; 其特征在于: 该静电正负压差驱动的微机电装置获取第一输出电源和第二输出电源,所述第一输出电源和所述第二输出电源能被选择性的输出至所述第一工作电极、所述第二工作电极或者所述参考电极; 其中,所述第一输出电源和所述第二输出电源中的一个为直流正电压,所述第一输出电源和所述第二输出电源中的另一个为直流负电压; 所述第一输出电源和所述第二输出电源的电压均为固定值,或者,所述第一输出电源和所述第二输出电源的电压均为变化值;或者,所述第一输出电源和所述第二输出电源中的一个的电压为固定值,所述第一输出电源和所述第二输出电源中的另一个的电压为变化值; 所述第一输出电源能输出至所述第一工作电极,且所述第二输出电源能输出至所述第二工作电极和所述参考电极以增大所述第一工作电极与所述参考电极之间的电压差,该参考电极对应于所述第一工作电极和所述第二工作电极。
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