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龙图腾网获悉中国工程物理研究院电子工程研究所申请的专利一种微裂纹检测方法、装置及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120121724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510609168.0，技术领域涉及：G01N29/24；该发明授权一种微裂纹检测方法、装置及制备方法是由孙臣臣;余永红;邢占强;计炜梁;孙翔宇设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微裂纹检测方法、装置及制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微裂纹检测技术领域，具体涉及一种微裂纹检测方法、装置及制备方法，包括：构建微裂纹检测系统，并基于被测固体材料声速与缺陷预估位置，计算横纵波传播时间差，并通过FPGA控制器对激励信号施加延迟；同步触发微裂纹检测系统的横纵波发射，使经过延迟调控的不同频率横纵波同时进入被测固体材料，当横纵波同时作用于被测固体材料的微裂纹缺陷时，基于被测固体材料的非线性特性产生混频效应，生成差频分量；捕获并分析差频回波信号完成被测固体材料的微裂纹检测。应用本发明能够实现高精度时延控制与高信噪比混频回波捕获，并有效提升检出率。

本发明授权一种微裂纹检测方法、装置及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微裂纹检测方法，其特征在于，该方法的步骤包括： 构建微裂纹检测系统，所述微裂纹检测系统包括LN横纵波双模微探头、激励信号发生器、上位机控制系统和数据采集卡，并对微裂纹检测系统的激励信号进行参数设定，基于被测固体材料声速与缺陷预估位置，计算横纵波传播时间差，并通过FPGA控制器对激励信号施加延迟； 同步触发微裂纹检测系统的横纵波发射，使经过延迟调控的不同频率横纵波同时进入被测固体材料，当横纵波同时作用于被测固体材料的微裂纹缺陷时，基于被测固体材料的非线性特性产生混频效应，生成差频分量； 捕获并分析差频回波信号，基于差频回波信号的分析结果完成被测固体材料的微裂纹检测； LN横纵波双模微探头的制备方法为： 在熔融环境中，以空气对铌酸锂晶体进行生长，并保持铌酸锂晶体生长过程中直径等径； 沿生长出的铌酸锂单晶棒的X轴进行切割，得到x-cutLN晶圆； 依次对x-cutLN晶圆的正面及背面进行金属层沉积，并在背面添加划片标记，执行划片后，得到LN横纵波一体化器件准备基片； 对LN横纵波一体化器件准备基片的正面金属层进行图形化刻蚀，并对伸缩工作模式下的LN横纵波一体化器件准备基片的背面金属层进行深刻蚀，得到纵波器件部分； 对LN横纵波一体化器件准备基片的正面金属层进行深刻蚀，得到横波器件部分，横波器件部分与纵波器件部分之间形成隔离沟槽，构成LN横纵波一体化器件，并对完成制备的LN横纵波一体化器件进行阵列化，完成LN横纵波双模微探头的制备。

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