合肥晶合集成电路股份有限公司宋富冉获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利金属叠层结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120109110B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510591710.4,技术领域涉及:H01L23/48;该发明授权金属叠层结构及其制备方法是由宋富冉;周儒领设计研发完成,并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属叠层结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种金属叠层结构及其制备方法。该金属叠层结构包括:至少两个金属层,所述两个金属层的底面位于同一基底上;其中一个金属层具有凹槽结构,另一个金属层具有延伸状结构,所述延伸状结构嵌合在所述凹槽结构中,以形成平面金属叠层结构。通过本申请实施例的方案,能够优化金属叠层结构,将传统的金属叠层结构转换为平面金属叠层结构,消除台阶高度造成的关键尺寸偏差,减小金属叠层结构交叠处的第二层金属层因台阶高度而产生断开和与第一层金属层贴合裂开的风险。
本发明授权金属叠层结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种金属叠层结构,其特征在于,包括:至少两个金属层,所述两个金属层的底面位于同一基底上; 其中一个金属层具有凹槽结构,另一个金属层具有延伸状结构,所述延伸状结构嵌合在所述凹槽结构中,以形成平面金属叠层结构; 所述至少两个金属层包括:第一金属层(11)和第二金属层(12);所述第一金属层(11)包括:线型导电部(101)和至少两个外突导电部(102),所述外突导电部(102)与所述线型导电部(101)相连以形成凹槽结构,所述外突导电部(102)为所述凹槽结构的槽壁,所述线型导电部(101)为所述凹槽结构的槽底;所述第二金属层(12)包括:条型导电部(103)和从所述条型导电部(103)一侧延伸出的嵌合导电部(104),其中,所述嵌合导电部(104)嵌合在所述凹槽结构中,并与所述线型导电部(101)相接。
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