合肥晶合集成电路股份有限公司潘玉妹获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120138615B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510596052.8，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统是由潘玉妹设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统，所述方法包括：获得常压炉管内部的工作气压，以作为第一气压；获得常压炉管的尾管的气压，以作为第二气压；基于所述第一气压和所述第二气压，调整所述第一气压和所述第二气压的压力差，使得所述第一气压和所述第二气压的压力差等于第一预设压力差，以维持所述第一气压不变；以及基于所述第一气压和预设时间，在所述常压炉管内制备薄膜。本申请实施例通过调整的第一气压和第二气压的压力差，能够维持常压炉管内部的工作气压不变，从而能够使得制备薄膜的速率维持稳定，可以提升制备薄膜厚度的一致性。
本发明授权用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统在权利要求书中公布了：1.一种用于常压炉管系统的制备薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括： 获得常压炉管内部的工作气压，以作为第一气压； 获得常压炉管的尾管的气压，以作为第二气压； 基于所述第一气压和所述第二气压，调整所述第一气压和所述第二气压的压力差，使得所述第一气压和所述第二气压的压力差等于第一预设压力差，以维持所述第一气压不变； 基于所述第一气压和预设时间，在所述常压炉管内制备薄膜， 其中，工作气压为常压炉管内部的晶圆所在区域的气压； 其中，在所述基于所述第一气压和所述第二气压，调整所述第一气压和所述第二气压的压力差，使得所述第一气压和所述第二气压的压力差等于第一预设压力差之前，所述方法还包括： 获得预设周期内大气压力的最低气压，以作为基准气压； 获取大气压力的当前值，以作为当前气压； 基于所述基准气压和所述当前气压，计算得到常压炉管的第一预设压力差。
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