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龙图腾网获悉珠海恒格微电子装备有限公司申请的专利一种等离子体设备测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120089585B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510565119.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体设备测试方法是由李志强;赵义党;李志华设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体设备测试方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种等离子体设备测试方法，本方法使用可以重复利用的测试板，测试板上钻出不同孔径的测试孔，并沿测试孔将测试板分割成第一子板和第二子板，第一子板和第二子板的切割面上均包括半圆孔，在半圆孔的孔壁上涂设有机涂料后再将第一子板和第二子板合并成完整的测试板，之后将测试板放入等离子体设备进行蚀刻，蚀刻后分开测试板，使用金相显微镜、百倍镜和十倍镜等测量工具直接测量第一子板和或第二子板的孔壁上有机涂料的余量，以分析出等离子体设备的刻蚀能力；本方法中的测试板可以重复利用，测试成本低，并且本方法可以通过测量工具直观的分析出等离子体设备的刻蚀能力，不需要对每个孔都进行切片分析，提高了测试效率。

本发明授权一种等离子体设备测试方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体设备测试方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤S1：提供一块抗等离子蚀刻的测试板（100），在所述测试板（100）上钻出若干贯穿上下面的不同直径的测试孔（101）； 步骤S2：将所述测试板（100）沿所述测试孔（101）竖直分割成第一子板（102）和第二子板（103），所述第一子板（102）和第二子板（103）的切割面（104）上均包括半圆孔（105）； 步骤S3：在所述第一子板（102）和第二子板（103）的所述半圆孔（105）的孔壁上涂设有机涂料； 步骤S4：将孔壁涂设有机涂料的所述第一子板（102）和第二子板（103）可拆卸的固定拼接在一起组成所述测试板（100），所述半圆孔（105）均对应的组合成所述测试孔（101）； 步骤S5：将组合好后的所述测试板（100）置于等离子设备中刻蚀，刻蚀完成后取出所述测试板（100）； 步骤S6：将所述测试板（100）拆分成所述第一子板（102）和第二子板（103），通过测量工具测量所述第一子板（102）和或第二子板（103）的所述半圆孔（105）中有机涂料的余量，以分析所述等离子体设备的刻蚀能力；通过所述测量工具测量所述半圆孔（105）中剩余有机涂料最顶端到所述半圆孔（105）顶部孔口的距离计为a,通过所述测量工具测量所述半圆孔（105）中剩余有机涂料最底端到所述半圆孔（105）底部孔口的距离计为b，所述测试板（100）板厚记为H，测试孔（101）的直径记为d，测试孔（101）的厚径比为Hd，对应厚径比下等离子体设备的深蚀能力为（a+b）H。

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