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龙图腾网获悉深圳镭赫技术有限公司申请的专利定位方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072730B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510533954.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权定位方法、系统及存储介质是由何曦;李青格乐;飞利浦·肖恩·加斯塔尔多设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本定位方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种定位方法、系统及存储介质，包括：获取样品绕旋转轴旋转运动过程中的多组测量数据，其中，每组测量数据包括定位区域与基准点沿预设方向的测量距离、以及样品相对于旋转轴的旋转角度；从多组测量数据中确定至少部分测量数据，作为拟合数据；根据拟合数据，利用预设拟合函数对测量距离和旋转角度之间的关联关系进行拟合，以获取样品相对于旋转轴的位置关系。本发明提升了晶圆检测的准确性和实时性。

本发明授权定位方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种定位方法，其特征在于，待定位的样品包括预设定位区域，所述定位方法包括： 获取所述样品绕旋转轴旋转运动过程中的多组测量数据，其中，每组测量数据包括所述定位区域与基准点沿预设方向的测量距离、以及所述样品相对于所述旋转轴的旋转角度，所述基准点作为所述测量数据的参照标记物； 从多组所述测量数据中确定至少部分测量数据，作为拟合数据； 根据所述拟合数据，至少基于所述预设方向的斜率、或者至少基于距离r1，利用预设拟合函数对所述测量距离和所述旋转角度之间的关联关系进行拟合，以获取所述样品相对于所述旋转轴的位置关系；其中： 待测交点为样品中心绕所述旋转轴旋转时所述定位区域与所述预设方向的交点，坐标为（x，y）；定位区域以（xθ，yθ）为中心，预设方向为直线；xθ=x0cosθ-y0sinθ，yθ=x0sinθ-y0cosθ；（x0，y0）为中心起始位置的坐标，所述中心起始位置为所述旋转角度θ为零时样品中心的位置，所述直线为：y=k（x-xr）+yr,（xr，yr）为所述基准点的坐标，k为所述预设方向的斜率； 或者， 所述测量距离L，满足：L=M-K；M为所述旋转轴和所述基准点之间的距离，K为所述旋转轴与待测交点之间的距离；所述距离K，满足：；其中，设置以所述旋转轴为圆心、以所述距离K为半径的所述样品的圆，为样品圆心位于所述样品旋转的终止位置与圆的起始交点的距离，所述起始交点和所述圆心连线的方向经过所述样品旋转的起始位置，所述距离为样品尺寸，θ为所述旋转角度，d为偏心距离，所述偏心距离为样品中心到所述旋转轴之间的距离。

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