买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉龙门实验室申请的专利一种单晶硅样品腐蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120060980B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525555.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种单晶硅样品腐蚀装置是由王新昌;崔彩霞;贾倩琳设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶硅样品腐蚀装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制作技术领域，具体为一种单晶硅样品腐蚀装置，包括化学反应机，所述化学反应机的一侧设有化学反应槽，所述化学反应槽的上方设有固定件，所述化学反应机上设有用于控制所述固定件升降的控制机构，所述固定件上周向转动或轴向滑动设有两根转杆，两根所述转杆的外表面均安装有多个用于放置晶体的支撑件。本发明的有益效果是：利用两根转杆来控制若干个晶体进行往复摆动的同时进行往复滑动，其一，便于准确的放置或取出晶体，其二，大大提高了晶体表面与化学刻蚀剂的接触面积和频率，从而既可以让相邻的两个晶体将液体互相压向对方，加快刻蚀速率，又能够促使附着在晶体表面的小气泡自动脱离。

本发明授权一种单晶硅样品腐蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅样品腐蚀装置，其特征在于：包括化学反应机，化学反应机的一侧设有化学反应槽，化学反应槽的上方设有固定件，化学反应机上设有用于控制固定件升降的控制机构，固定件上周向转动或轴向滑动设有两根转杆，两根转杆的外表面均安装有多个用于放置晶体的支撑件，两根转杆外表面的支撑件为交错设置； 固定件的内部设有驱动组件和引导组件，控制机构控制固定件在化学反应槽内部上下往复移动，驱动组件用于控制两根转杆进行对向旋转，两根转杆对向旋转，引导组件用于控制两根转杆进行相对的往复滑动； 驱动组件包括滑动设置在固定件内部的齿条，齿条具有双面啮齿，两根转杆对应齿条的位置均固定设有齿轮，两个齿轮均与齿条相啮合；齿条的顶端与固定件内部的顶面之间通过弹性件配合连接； 引导组件包括固定杆，固定件对应两个齿轮的位置均固定设有所述固定杆，固定杆靠近齿轮的一端转动设有滚动件，滚动件为滚珠，齿轮对应滚动件的位置开设有引导槽，引导槽的开口处固定安装有槽盖；引导槽和槽盖的形状均为弧形，引导槽朝向槽盖的一面为斜面，槽盖朝向引导槽的一面为斜面，槽盖的斜面与引导槽的斜面相反，两个齿轮的引导槽的斜面为相反设置，滚动件位于固定杆的一侧开设有转动孔，固定杆通过轴承与转动孔配合连接，两个齿轮进行对向旋转，利用滚动件在引导槽和槽盖之间的位置变化，使得两根转杆带动若干支撑件进行往复轴向滑动，且由于两个齿轮的引导槽的斜面为相反设置，让相邻的两个晶体将液体互相压向对方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人龙门实验室，其通讯地址为：471000 河南省洛阳市伊滨区科技大道1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。