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龙图腾网获悉佛山易事达电容材料有限公司申请的专利一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119757234B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411955389.5，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法是由钟秀珍;周方舟;唐汇军设计研发完成，并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法，涉及薄膜光学测量技术领域，包括在预设波长范围内，采用椭偏仪对待测金属薄膜样品进行光谱扫描，获取量测光谱数据；构建基于三层膜系结构的理论光谱模型，设定结构参数初始值；将结构参数初始值代入所述理论光谱模型，生成理论光谱数据；采用多策略并行的全局优化算法对结构参数进行迭代调整，当满足第一收敛准则时终止迭代过程，输出最优结构参数；基于最优结构参数，计算并输出金属薄膜的实际膜厚、折射率和消光系数。本发明构建了结合德鲁德‑洛伦兹色散模型、有效介质近似理论和传递矩阵法的理论光谱模型，实现了金属薄膜光学参数的高精度表征，有效提高了测量精度。

本发明授权一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于理论光谱与量测光谱的金属薄膜测量方法，其特征在于：包括， 在预设波长范围内，采用椭偏仪对待测金属薄膜样品进行光谱扫描，获取量测光谱数据； 构建基于三层膜系结构的理论光谱模型，设定结构参数初始值； 将所述结构参数初始值代入所述理论光谱模型，生成理论光谱数据； 采用多策略并行的全局优化算法对所述结构参数进行迭代调整，当满足第一收敛准则时终止迭代过程，输出最优结构参数； 构建复合损失函数； 采用遗传算法、粒子群算法和模拟退火算法构建三个优化子进程，基于复合损失函数对结构参数进行并行搜索； 在并行搜索过程中，设置进程间通信机制，定期交换搜索信息，防止算法陷入局部最优解； 在迭代优化过程中，动态调整搜索参数并构建优质解集，具体包括：根据复合损失函数值的变化情况对搜索参数进行动态调整： 若复合损失函数值连续三次迭代的相对变化率小于预设变化率阈值，则增大算法的局部搜索能力，具体为：提高遗传算法的交叉概率、粒子群算法的局部学习因子和模拟退火算法的降温系数； 若复合损失函数值连续三次迭代处于局部最优，则增大算法的全局搜索能力，具体为：提高遗传算法的变异概率、粒子群算法的全局学习因子和模拟退火算法的温度； 引入基于距离的精英保留策略，维持解集多样性； 在每一轮迭代过程中，从三个优化子进程中选择复合损失函数值最小的解加入优质解集，并控制优质解集大小； 当满足第一收敛准则时，从优质解集中选取最小复合损失函数值对应的结构参数作为最优结构参数； 基于最优结构参数，计算并输出金属薄膜的实际膜厚、折射率和消光系数。

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