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江苏京创先进电子科技有限公司高金龙获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利晶圆的倒角切割方法、电子设备、计算机可读存储介质及划片机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119526615B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411928593.8,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权晶圆的倒角切割方法、电子设备、计算机可读存储介质及划片机是由高金龙;陈梓杰;孙志超;张宁宁;李铖设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆的倒角切割方法、电子设备、计算机可读存储介质及划片机在说明书摘要公布了:本发明涉及划片机技术领域,尤其涉及一种晶圆的倒角切割方法、电子设备、计算机可读存储介质及划片机。本发明的晶圆的倒角切割方法,通过获取晶圆上待切除的边角点B的坐标和边角点B所在的一个侧边上的切割点A的坐标,切割点A位于边角点B的倒角切割线上。载台旋转预设角度,以使边角点B落在X轴上,且倒角切割线与平面直角坐标系的Y轴平行。根据预设角度获取切割点A旋转后的坐标,载台沿X轴方向朝向切断刀具移动,直至倒角切割线位于切断刀具的正下方,切断刀具下降至切割高度,载台沿Y轴朝向切断刀具移动,以完成边角点B的倒角切割。通过切断刀具对晶圆的边角进行倒角切割,无需更换开槽刀具,提高了晶圆的倒角切割效率。

本发明授权晶圆的倒角切割方法、电子设备、计算机可读存储介质及划片机在权利要求书中公布了:1.晶圆的倒角切割方法,其特征在于,包括如下步骤: 待切割的晶圆(5)放置并吸附于划片机(400)的载台(1); 以所述载台(1)的旋转中心为原点建立平面直角坐标系;获取所述晶圆(5)上待切除的边角点B的坐标和所述边角点B所在的一个侧边上的切割点A的坐标,所述切割点A位于所述边角点B的倒角切割线(6)上; 所述载台(1)旋转预设角度,以使所述边角点B落在所述平面直角坐标系的X轴的正向上,且所述倒角切割线(6)与所述平面直角坐标系的Y轴平行; 根据所述预设角度获取所述切割点A旋转后的坐标,所述载台(1)沿X轴方向朝向切断刀具(3)移动,直至所述倒角切割线(6)位于所述切断刀具(3)的正下方; 所述切断刀具(3)下降至切割高度,所述载台(1)沿所述Y轴朝向所述切断刀具(3)移动,以完成所述边角点B的倒角切割; 在所述载台(1)旋转前,判断所述边角点B是否位于所述X轴或所述Y轴上; 若所述边角点B位于所述X轴,则所述预设角度为0°或180°; 若所述边角点B位于所述Y轴,则所述预设角度为90°或270°。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏京创先进电子科技有限公司,其通讯地址为:215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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