浙江大学马志鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119716143B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840609.X，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法是由马志鹏;周涛;金仲和设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法，属于微机电传感器技术领域。其基本工作原理为：通过设计单轴的多模态谐振子系统，包含多个质量块和弹性梁，利用准静态和多阶振动模态对单轴加速度引起的位移进行同步检测，并设计多模态滤波器实现各阶位移检测量的权重分配，加权融合得到加速度引起质量块的最终位移量，开环时该位移可直接表征加速度大小，闭环时使该位移恒定的反馈控制电压可以表征加速度大小。该发明可有效抑制共模误差、温度漂移并拓展带宽。
本发明授权一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种多模态微机械谐振子系统，其特征在于，包括多个质量块和弹性梁构成的沿单轴方向运动的多模态质量弹簧系统和电容器，多个质量块之间通过大刚度弹性梁相连，同时多个质量块各自通过小刚度弹性梁连接到锚区上； 多个质量块中的一个主质量块上分布设置移动梳齿电极，包括在主质量块左右两侧设置的第一移动梳齿电极，以及主质量块上下两侧设置的第二移动梳齿电极、第三移动梳齿电极、第四移动梳齿电极；所述第一移动梳齿电极方向与主质量块运动方向相同，第二移动梳齿电极、第三移动梳齿电极、第四移动梳齿电极方向与主质量块运动方向垂直； 左侧的第一移动梳齿电极与固定在主质量块左侧锚区的固定梳齿电极形成第一变面积型驱动器6；右侧的第一移动梳齿电极与固定在主质量块右侧锚区的固定梳齿电极形成第二变面积型驱动器10；上下侧的第二移动梳齿电极、第三移动梳齿电极和第四移动梳齿电极分别与固定在主质量块上下侧锚区的相对应的固定梳齿电极形成第一变间距型电容7、变间距型驱动器8和第二变间距型电容9。
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