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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119915413B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411811705.1，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器及制备方法是由马超;胡又凡设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器，包括弹性体复合栅极电极、分层复合介电质层、浮栅碳纳米管晶体管，弹性体复合栅极电极由弹性体电极和金属电极复合而成，弹性体电极由聚二甲基硅氧烷和导电碳纳米管制备而成，弹性体电极外表面形成多尺度微结构，金属电极为蒸镀微结构外表面的下金属层电极和与弹性体电极上表面相连的上金属层电极；分层复合介电质层由有机介电质和无机介电质复合而成；浮栅碳纳米管晶体管中的浮栅电极长度延长用于与其他部分的集成，其沟道由高纯度半导体碳纳米管薄膜制成。本发明的工作电压相对较低、传感性能较高，设计灵活性较高、电学和力学稳定性较高，有利于传感器器件的小型化和规模化。

本发明授权一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种集成碳纳米管晶体管的柔性压力传感器，包括弹性体复合栅极电极、分层复合介电质层、浮栅碳纳米管晶体管，其特征在于所述弹性体复合栅极电极由弹性体电极和金属电极复合而成，所述弹性体电极为由聚二甲基硅氧烷和导电碳纳米管复合材料制备而成的弹性体，所述弹性体电极在朝向分层复合介电质的外表面形成多尺度微结构，所述金属电极为蒸镀在弹性体电极具有多尺度微结构外表面的下金属层电极和与弹性体电极不具有多尺度微结构的表面相连的上金属层电极；所述分层复合介电质层由有机介电质和无机金属氧化物介电质形成上下层结构复合而成，其位于弹性体复合栅极电极具有多尺度微结构的外表面与浮栅碳纳米管晶体管中的浮栅之间；所述浮栅碳纳米管晶体管中的浮栅电极长度延长，用于与弹性体复合栅极电极和分层复合介电质层的集成，其延长段长度大于弹性体复合栅极电极和分层复合介电质层的长度，其延长段的上表面与分层复合介电质层中的无机金属氧化物介电质相连，其非延长段的上表面自下而上按顺序沉积有：晶体管介电层、沟道，以及位于沟道两端的源极电极、漏极电极，所述沟道由高纯度半导体碳纳米管薄膜制成。

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