苏州芯轮半导体科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种抛光研磨转台及抛光研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119304774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411745646.2，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种抛光研磨转台及抛光研磨装置是由张磊;温鹏飞设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光研磨转台及抛光研磨装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抛光研磨转台，包括大理石平台和抛光盘，大理石平台上设置有安装架，安装架上设置有与抛光盘连接的中空直驱电机，电机转子内部还设置有中空管，中空管与抛光盘固定连接，底部与磁环链接，安装架底部设置有读数传感器，读数传感器与磁环配合形成磁环编码器；安装架外周方向的大理石平台上均匀设置有多个气浮支撑块，气浮支撑块顶部端面设置抛光盘下方，气浮支撑块内设置有流道，流道一端与气源连接，流道的出气孔位于气浮支撑块的顶部端面上；抛光盘表面设置有抛光垫；磁环编码器用于检测抛光盘旋转时的跳动量，气源根据跳动量控制供气压力。本发明加工时具有良好的稳定性，极大降低了使用过程中的跳动，提高抛光品质。
本发明授权一种抛光研磨转台及抛光研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光研磨转台，其特征在于，包括大理石平台和抛光盘，所述大理石平台上设置有安装架，所述安装架上设置有中空直驱电机，所述中空直驱电机的转子端面与抛光盘底部连接； 所述转子内部还设置有中空管，所述中空管顶部与抛光盘固定连接，所述中空管底部穿过中空直驱电机与安装底板连接，所述安装底板上设置有磁环，所述安装架底部设置有读数传感器，所述读数传感器与磁环配合形成磁环编码器； 所述安装架外周方向的大理石平台上均匀设置有多个气浮支撑块，所述气浮支撑块顶部端面设置抛光盘下方，所述气浮支撑块内设置有流道，所述流道一端与气源连接，所述流道的出气孔位于气浮支撑块的顶部端面上； 所述抛光盘表面设置有抛光垫； 所述磁环编码器用于检测抛光盘旋转时的跳动量，所述气源根据跳动量控制供气压力。
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