深圳市美浦森半导体有限公司滕渊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市美浦森半导体有限公司申请的专利一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223286135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422702496.9,技术领域涉及:H10D62/10;该实用新型一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片是由滕渊;刘坤设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体器件技术,公开一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片,包括:衬底,以及在衬底正面挖空处设置的P阱区;两个纵向穿过P阱区的Poly栅极,在两个Poly栅极之间的P阱区上表面挖空处设置的硅化物区;在衬底正面、P阱区、Poly栅极之上设有氧化层,且氧化层还将Poly栅极与衬底、P阱区、硅化物区隔离;在氧化层、硅化物区之上设有介质层,以及纵向穿透介质层与硅化物区接触的正面金属层;在衬底背面之下依次设有缓冲层、P型掺杂层和背面金属层。本实用新型旨在使IGBT芯片具有天然的抗闩锁特性,以消除相应的闩锁效应。
本实用新型一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片在权利要求书中公布了:1.一种IGBT芯片的元胞区结构,其特征在于,包括: 衬底,以及在衬底正面挖空处设置的P阱区; 两个纵向穿过P阱区的Poly栅极,在两个Poly栅极之间的P阱区上表面挖空处设置的硅化物区; 在衬底正面、P阱区、Poly栅极之上设有氧化层,且氧化层还将Poly栅极与衬底、P阱区、硅化物区隔离; 在氧化层、硅化物区之上设有介质层,以及纵向穿透介质层与硅化物区接触的正面金属层; 在衬底背面之下依次设有缓冲层、P型掺杂层和背面金属层。
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