弘塑科技股份有限公司黄立佐获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利单晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422499678.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型单晶圆处理设备是由黄立佐;张修凯;许明哲设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种单晶圆处理设备。单晶圆处理设备包括晶圆保持部、二流体喷嘴、压力校正装置以及移动装置。所述晶圆保持部配置用于承载晶圆。所述二流体喷嘴配置用于向所述晶圆提供由气体和工艺液体组成的混合流体。所述压力校正装置配置用于量测由所述二流体喷嘴提供的所述混合流体的压力值。所述移动装置与所述二流体喷嘴连接，配置用于控制所述二流体喷嘴在所述压力校正装置与所述晶圆保持部之间的位置进行移动。
本实用新型单晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种单晶圆处理设备，其特征在于，包括： 晶圆保持部，可绕轴旋转，配置用于承载晶圆； 二流体喷嘴，配置用于向所述晶圆提供由气体和工艺液体组成的混合流体； 压力校正装置，设置在所述晶圆保持部的一侧，配置用于量测由所述二流体喷嘴提供的所述混合流体的压力值；以及 移动装置，与所述二流体喷嘴连接，配置用于控制所述二流体喷嘴在所述压力校正装置与所述晶圆保持部之间的位置进行移动。
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