北京京仪自动化装备技术股份有限公司李阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置和废气处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223276100U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422484595.4,技术领域涉及:B01D53/26;该实用新型一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置和废气处理系统是由李阳;王松设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置和废气处理系统在说明书摘要公布了:一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置和系统,包括涡流器、第一管道和第二管道;第一管道和第二管道与涡流器连接,第一管道与除湿区连接,第二管道与除尘区连接;涡流器设有涡流室;涡流室沿其切线方向输入气体,第一管道的长度小于第二管道;涡流室内的冷气流输入除湿区,涡流室内的热气输入除尘区。本申请将气体送入涡流器,输入的气体形成涡流后,气流旋转前进,气流中与涡流器内侧壁摩擦接触的外围气体升温形成热气流,气流中心的气体形成冷气流。冷气流通过第一管道接入除湿区,减少酸性等腐蚀性液体的生成量,减少对厂务酸排管道内侧壁的腐蚀。热气流通过第二管道接入除尘区,避免废气所携带的粉尘与冷凝水结合而造成管道堵塞。
本实用新型一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置和废气处理系统在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体废气处理除湿和防堵的处理装置,应用于废气处理系统,其特征在于,包括涡流器、第一管道和第二管道;所述第一管道和所述第二管道的进气端分别与所述涡流器的两侧连接,所述第一管道的出气端与所述废气处理系统的除湿区连接,所述第二管道的出气端与所述废气处理系统的除尘区连接;所述涡流器内部设置有圆柱状的涡流室,所述第一管道和所述第二管道与所述涡流室同轴线设置且分别与所述涡流室连通;所述涡流室沿其切线方向输入有设定压力和设定温度的气体,所述第一管道的长度小于所述第二管道的长度;所述涡流室内的冷气流通过所述第一管道输入所述除湿区,所述涡流室内的热气流通过所述第二管道输入所述除尘区;其中,所述气体的压力至少高于一个大气压,所述气体的温度匹配于所述涡流器所处的环境温度。
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