浙江斯凯沃微电子有限公司何波获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江斯凯沃微电子有限公司申请的专利一种晶圆清洗抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223277753U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422480192.2，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种晶圆清洗抛光装置是由何波;阮旖丽设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗抛光装置，包括工作台，工作台上设有设有抛光机构及晶圆限位紧固机构，所述晶圆限位紧固机构设置于抛光机构下方，所述晶圆限位紧固机构包括夹持座，其呈上大下小的锥体状且上侧形成敞口，所述夹持座的顶部外围设置限位座，所述晶圆限位紧固机构处活动连接有清洗机构。本实用新型在晶圆限位紧固机构处巧妙增设清洗机构，既不影响晶圆的有效夹持，又能够在抛光结束后直接开始清洗，使用更加灵活且便捷。其次，环向清洗后的水能够进入夹持座并从其下方流出，且少部分水也会直接从晶圆与敞口座接攘的内边缘处下渗流出形成出水流道，与进水流道形成清洗晶圆的水循环。
本实用新型一种晶圆清洗抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗抛光装置，包括工作台，工作台上设有设有抛光机构及晶圆限位紧固机构，所述晶圆限位紧固机构设置于抛光机构下方，所述晶圆限位紧固机构包括夹持座，其呈上大下小的锥体状且上侧形成敞口，所述夹持座的顶部外围设置限位座，其特征在于：所述晶圆限位紧固机构处活动连接有清洗机构，所述清洗机构包括与限位座适配尺寸的环形座，环形座上周向连接有喷头，所述喷头的喷射朝向倾斜向下并对准晶圆外周，其有下方设置的水泵供水形成进水流道，所述限位座上开设有通槽，通槽上连通一分管，所述分管的下端连通至中空的夹持座内使得清洗后的水得以流出，其余清洗后的水直接从晶圆与敞口座接攘的内边缘处下渗至夹持座下方流出，上述两者形成出水流道与进水流道形成清洗晶圆的水循环。
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