江苏微导纳米科技股份有限公司张鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280934U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422487180.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型沉积系统是由张鹏;严大;范方宇;廖宝臣;杨柳设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积系统在说明书摘要公布了：本申请公开了沉积系统。沉积系统包括外壳、支撑座和活动座。支撑座设置于外壳内，支撑座用于支撑载具。活动座设置于外壳，活动座和支撑座相对设置在外壳的两侧，活动座和支撑座之间用于供载具放置，活动座包括安装于外壳的基座和与基座活动连接的抵接座，抵接座设置于外壳内。其中，抵接座用于通过活动选择性与载具抵接，以通过活动座和支撑座将载具封闭，支撑座和活动座的其中一者设置有进气通道，另一者设置有出气通道；进气通道和出气通道用于向载具内通入工艺气体。通过上述方式，本申请能够提高镀膜的均匀性。
本实用新型沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种沉积系统，其特征在于，包括： 外壳； 支撑座，设置于所述外壳内，所述支撑座用于支撑载具； 活动座，设置于所述外壳，所述活动座和所述支撑座相对设置在所述外壳的相对两侧，所述活动座和所述支撑座之间用于供所述载具放置，所述活动座包括安装于所述外壳的基座和与所述基座活动连接的抵接座，所述抵接座设置于所述外壳内； 其中，所述抵接座用于通过活动选择性与所述载具抵接，以选择性通过所述活动座和所述支撑座将所述载具封闭，所述支撑座和所述活动座的其中一者设置有进气通道，另一者设置有出气通道；所述进气通道和所述出气通道用于向所述载具内通入工艺气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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