上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司佘荣宇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种晶舟及立式炉管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284947U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422469334.5，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶舟及立式炉管是由佘荣宇设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟及立式炉管在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶舟及立式炉管，所述晶舟包括底座；第一承载组件，设于所述底座，所述第一承载组件沿其轴向间隔的设置有若干第一承载件，所述第一承载件用于承载具有第一深宽比结构的晶圆；第二承载组件活动设于所述底座并靠近所述第一承载组件，所述第二承载组件沿其轴向间隔的设置有第二承载件，所述第二承载件和所述第一承载件配合用于承载另一种具有第二深宽比结构的晶圆；驱动机构，与所述第二承载组件连接，用于驱动所述第二承载组件升降。本实用新型提供的晶舟，由于驱动机构可带动第二承载组件移动，实现了对第一承载件和第二承载件之间的间距进行调节，从而可一次性处理两种具有深宽比结构的晶圆，提高设备的利用率和兼容性。
本实用新型一种晶舟及立式炉管在权利要求书中公布了：1.一种晶舟，其特征在于，包括： 底座； 第一承载组件，设于所述底座，所述第一承载组件沿其轴向间隔的设置有若干第一承载件，所述第一承载件用于承载具有第一深宽比结构的晶圆； 第二承载组件，活动设于所述底座并靠近所述第一承载组件，所述第二承载组件沿其轴向间隔的设置有第二承载件，所述第二承载件和所述第一承载件配合用于承载另一种具有第二深宽比结构的承载晶圆； 驱动机构，与所述第二承载组件连接，用于驱动所述第二承载组件升降。
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