浙江芯晖装备技术有限公司王云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯晖装备技术有限公司申请的专利一种定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284961U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422460139.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种定位装置是由王云飞;张旭斌;张峰;盛湘远设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种定位装置，包括架体、放置组件、多组定位组件以及检测组件，架体设有安装板；放置组件，包括可转动地穿设于安装板的第一转轴、以及连接于第一转轴顶部用于放置晶圆的装载台；多组定位组件，沿装载台周向设置，定位组件包括可转动地穿设于安装板的第二转轴、以及设置于第二转轴顶部的定位柱，第二转轴和定位柱的轴线平行，通过转动第二转轴带动定位柱靠近和远离装载台，以使晶圆中心定位于装载台的轴线上；检测组件安装于安装板，检测组件设有传感器，以检测晶圆的平边和或切口，使得晶圆在装载台上实现准确定位，如此设置，能够提供一种装置对晶圆进行定位后再搬运至加工载台，以提高晶圆研磨的质量及合格率。
本实用新型一种定位装置在权利要求书中公布了：1.一种定位装置，其特征在于，包括： 架体，设有安装板； 放置组件，包括可转动地穿设于所述安装板的第一转轴、以及连接于所述第一转轴顶部用于放置晶圆的装载台； 多组定位组件，沿所述装载台周向设置，所述定位组件包括可转动地穿设于所述安装板的第二转轴、以及设置于所述第二转轴顶部的定位柱，所述第二转轴和所述定位柱的轴线平行，通过转动所述第二转轴带动所述定位柱靠近和远离所述装载台，以使所述晶圆中心定位于所述装载台的轴线上； 检测组件，安装于所述安装板，所述检测组件设有传感器，以检测所述晶圆的平边和或切口。
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