安徽光智科技有限公司杨强获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利温场稳定装置及垂直液相外延系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280972U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422446067.X，技术领域涉及：C30B19/00；该实用新型温场稳定装置及垂直液相外延系统是由杨强;许军;魏硕硕;毛成状设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本温场稳定装置及垂直液相外延系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种温场稳定装置及垂直液相外延系统，涉及半导体材料制备技术领域。垂直液相外延系统包括石墨拉杆、冷水盘和石墨坩埚，温场稳定装置包括壳体，壳体具有从自身的一端贯穿至另一端的通孔，壳体通过通孔套设在石墨拉杆上且位于冷水盘与石墨坩埚之间，壳体靠近冷水盘的一端开设有环绕通孔的环形收容槽；在衬底上生长碲镉汞薄膜的过程中，生长区（即石墨坩埚）的汞蒸汽会不断地向上方的低温区（即冷水盘）运动，并在低温区凝结成液体汞珠，当液体汞珠滴落时，液体汞珠会被壳体上的环形收容槽所接收，并不会到达下方的高温区（即石墨坩埚）。基于此，本申请可使生长区的温场更加平衡，并减小碲镉汞薄膜生长数据的调控难度。
本实用新型温场稳定装置及垂直液相外延系统在权利要求书中公布了：1.一种温场稳定装置，其特征在于，应用于垂直液相外延系统中，所述垂直液相外延系统包括石墨拉杆、固定架、用于容置冷却水的冷水盘及用于容置碲镉汞溶液的石墨坩埚，所述冷水盘设置于所述石墨坩埚的上方，所述石墨拉杆滑动设置于所述冷水盘与所述石墨坩埚之间，所述固定架设置于所述石墨拉杆靠近所述石墨坩埚的一端上，所述固定架用于固定衬底，所述石墨拉杆用于在外力作用下将所述固定架伸入所述石墨坩埚、并使所述衬底浸没于所述碲镉汞溶液中，以在所述衬底上生长碲镉汞薄膜； 所述温场稳定装置包括壳体，所述壳体具有从自身的一端贯穿至另一端的通孔，所述壳体通过所述通孔套设在所述石墨拉杆上，所述壳体靠近所述冷水盘的一端开设有环绕所述通孔的环形收容槽，所述环形收容槽用于在所述碲镉汞薄膜的生长过程中接收从上方滴落的液体汞珠。
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