安徽国芯光刻技术有限公司薛业保获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利一种光刻机上版夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284507U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422345402.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机上版夹具是由薛业保;张学会;章广飞;王运钢设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机上版夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机上版夹具，包括桌台、通过转轴转动设置于桌台顶部的转盘，所述转盘上固定连接有涡状条，所述涡状条上方设置有四个呈X型分布的驱动条，所述驱动条底部固定连接有多个驱动齿，所述驱动齿卡接在涡状条上，所述驱动条远离转盘一端固定连接有导向条，所述导向条上固定安装有吸盘，所述桌台顶部固定连接有导轨，所述导向条滑动设置于所述导轨上。本实用新型中，启动电机，带动蜗杆转动，蜗杆带动蜗轮转动，蜗轮通过转轴带动转盘转动，转盘上的涡状条与驱动齿配合，从而推动驱动条直线位移，使得导向条沿着导轨的方向进行移动，此时导向条上吸盘的位置发生变化，本装置可以实现同时对四个吸盘的位置调节，节省操作步骤。
本实用新型一种光刻机上版夹具在权利要求书中公布了：1.一种光刻机上版夹具，其特征在于：包括桌台1、通过转轴转动设置于桌台1顶部的转盘2，所述转盘2上固定连接有涡状条201，所述涡状条201上方设置有四个呈X型分布的驱动条3，所述驱动条3底部固定连接有多个驱动齿4，所述驱动齿4卡接在涡状条201上，所述驱动条3远离转盘2一端固定连接有导向条5，所述导向条5上固定安装有吸盘6，所述桌台1顶部固定连接有导轨12，所述导向条5滑动设置于所述导轨12上。
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