芯恩(青岛)集成电路有限公司刘晓亮获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利风冷设备和外延工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280973U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337492.5，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型风冷设备和外延工艺设备是由刘晓亮;王伟设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本风冷设备和外延工艺设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种风冷设备和外延工艺设备。该风冷设备，包括：风机、监测装置与控制器；监测装置至少部分位于风机上；监测装置与控制器连接；风机包括轴承与叶片，叶片设置在轴承上，且能够随轴承旋转；轴承的中轴线与风机的中轴线重合；监测装置用于采集目标监测信号，并发送给控制器；目标监测信号用于指示轴承的中轴线是否偏离风机的中轴线；控制器用于基于目标监测信号执行对应的目标控制操作；当目标监测信号指示轴承的中轴线偏离风机的中轴线时，控制器发出报警指令。本申请的技术方案，可以检测风机的轴承的中轴线是否偏离风机的中轴线，进而可以避免风机的轴承的中轴线偏离风机的中轴线导致对外延工艺设备造成不可逆的损伤。
本实用新型风冷设备和外延工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种风冷设备，其特征在于，包括：风机、监测装置与控制器； 所述监测装置至少部分位于所述风机上；所述监测装置与所述控制器连接；所述风机包括轴承与叶片，所述叶片设置在所述轴承上，且能够随所述轴承旋转；所述风机正常运行时所述轴承的中轴线与所述风机的中轴线重合； 所述监测装置用于采集目标监测信号，并发送给所述控制器；所述目标监测信号用于指示所述轴承的中轴线是否偏离所述风机的中轴线； 所述控制器用于基于所述目标监测信号执行对应的目标控制操作；当所述目标监测信号指示所述轴承的中轴线偏离所述风机的中轴线时，所述控制器发出报警指令。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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