长江存储科技有限责任公司柳波获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆卡盘和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284966U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422220871.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆卡盘和半导体设备是由柳波;高君;黄啟伟;张家赫;刘彦伟设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆卡盘和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆卡盘和半导体设备。晶圆卡盘包括基座，基座包括基座本体、第一温度调节部、第二温度调节部和隔温层，基座本体具有沿第一方向延伸的侧壁，第一温度调节部位于基座本体内，第二温度调节部位于基座本体内并沿第二方向位于第一温度调节部朝向基座本体的侧壁的一侧，隔温层位于基座本体内并沿第二方向位于第一温度调节部与第二温度调节部之间，第一方向与第二方向相交。
本实用新型晶圆卡盘和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡盘，包括基座； 其中，所述基座包括： 基座本体，具有沿第一方向延伸的侧壁； 第一温度调节部，位于所述基座本体内； 第二温度调节部，位于所述基座本体内并沿第二方向位于所述第一温度调节部朝向所述侧壁的一侧；以及 隔温层，位于所述基座本体内并沿所述第二方向位于所述第一温度调节部与所述第二温度调节部之间，所述第一方向与所述第二方向相交。
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