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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118721051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411201493.5，技术领域涉及：B24D11/00；该发明授权化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫是由梅英杰;鲁航;王凯;田骐源;袁文杰;高彦升;闫晨凯设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械抛光垫技术领域，提供一种化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫，在抛光垫中采用本发明制备的抛光层，能够有效改善抛光垫抛光晶圆时的抛光速率不一致等问题。所述抛光层的制备步骤包括：（1）将包括聚氨酯预聚体、固化剂和部分膨胀的聚合物膨胀微球的混合料浇注于模具的浇注腔内，部分膨胀的聚合物膨胀微球经加热能二次膨胀；所述模具具有温度调节功能，并且沿着模具的浇注腔的横截面具有多个温度调节区域；（2）调节各个温度调节区域的温度以使至少两个所述温度调节区域的温度不同；（3）将混合料进行包括硫化的后处理，得到抛光层，且所述抛光层的各个抛光层区域之间的密度极差为0.05‑0.3gcm3，硬度极差为5‑10D。

本发明授权化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光垫的抛光层的制备方法，其特征在于，所述制备方法用于制备沿着抛光层的横截面包括多个密度和硬度不同的抛光层区域的抛光层； 所述抛光层的制备步骤包括： （1）将包括聚氨酯预聚体、固化剂和部分膨胀的聚合物膨胀微球的混合料浇注于模具的浇注腔内，所述混合料的浇注厚度为0.2-1cm，所述部分膨胀的聚合物膨胀微球经加热能二次膨胀；所述模具具有温度调节功能，并且沿着所述模具的浇注腔的横截面具有多个温度调节区域； 其中，所述部分膨胀的聚合物膨胀微球的初始膨胀温度为60-70℃，且在80-100℃达到最大膨胀能力并停止膨胀； 步骤（1）中先将所述部分膨胀的聚合物膨胀微球分散于所述聚氨酯预聚体中，所述分散在60-80℃下进行，之后在进行所述浇注之前，再添加所述固化剂并混合均匀，得到所述混合料；并且，进行所述浇注之前，所述混合料的温度为35-55℃； （2）调节各个所述温度调节区域的温度以使至少两个所述温度调节区域的温度不同，并且使得与温度不同的所述温度调节区域的位置相对应的浇注腔内的所述部分膨胀的聚合物膨胀微球发生不同程度的二次膨胀； （3）将经过步骤（2）处理的混合料进行包括硫化的后处理，得到单片的所述抛光层，且所述抛光层的各个所述抛光层区域之间的密度极差为0.05-0.3gcm3，硬度极差为5-10D。

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