昆山国力大功率器件工业技术研究院有限公司程肇平获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山国力大功率器件工业技术研究院有限公司申请的专利一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280917U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422096382.4，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗是由程肇平;郭军营;王少哲;李永明设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗，坩埚内的靶材融化产生的金属蒸汽上升，通过所述输送窗的窗口扩散到镀膜基材上冷却沉积成膜，所述输送窗包括框架，所述框架的相对两侧设有永磁磁路，两所述永磁磁路之间设有供金属蒸汽上升的窗口；所述永磁磁路包括至少两个磁轭、设于两所述磁轭之间的永磁体和隔板，所述磁轭远离框架且与隔板处于同一水平面的一端为极靴；两所述永磁磁路按照输出窗的中心呈圆周对称分布，且两侧所述磁路的极靴错位排列，极大的减少了背散射电子和二次电子通过输出窗对镀膜基材的轰击，使得基材分子排列结构不会受到破坏，从而保证了基材抗拉机械强度不会下降明显。
本实用新型一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗在权利要求书中公布了：1.一种可消除背散射电子和二次电子的真空金属蒸镀用输出窗，坩埚1内的靶材2融化产生的金属蒸汽上升，通过所述输送窗的窗口扩散到镀膜基材71上冷却沉积成膜，其特征在于，所述输送窗包括框架51，所述框架51的相对两侧设有永磁磁路，两所述永磁磁路之间设有供金属蒸汽上升的窗口； 所述永磁磁路包括至少两个磁轭、设于两所述磁轭之间的永磁体52和隔板53，所述磁轭远离框架51且与隔板53处于同一水平面的一端为极靴57； 两所述永磁磁路按照输出窗5的中心呈圆周对称分布，且两侧所述磁路的极靴57错位排列。
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