无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种密封式晶圆搬运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422088221.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种密封式晶圆搬运装置是由李鹏;王佳伟;曹刚设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种密封式晶圆搬运装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种密封式晶圆搬运装置，包括：传动结构、驱动结构和密封结构，传动结构包括旋转杆，旋转杆上安装有夹持臂；驱动结构包括壳体和驱动组件，壳体内开设有容置空间，驱动组件安装在容置空间内，旋转杆贯穿壳体与驱动组件相连；驱动结构驱动旋转杆旋转以带动夹持臂转动夹持晶圆；密封结构包括第一密封件，第一密封件设置在旋转杆与壳体的连接位置以密封容置空间；其中，容置空间内充斥有气体介质，且容置空间内的第一气体压强大于壳体外部的第二气体压强以防止外部气体进入容置空间。此结构的容置空间的内部形成正压，避免酸气进入，导致内部元器件的腐蚀。
本实用新型一种密封式晶圆搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种密封式晶圆搬运装置，其特征在于，包括： 传动结构2，所述传动结构2包括旋转杆21，所述旋转杆21上安装有夹持臂1； 驱动结构5，所述驱动结构5包括壳体51和驱动组件52，所述壳体51内开设有容置空间，所述驱动组件52安装在所述容置空间内，所述旋转杆21贯穿所述壳体与所述驱动组件52相连；所述驱动结构5驱动所述旋转杆21旋转以带动所述夹持臂1转动夹持晶圆； 密封结构，所述密封结构包括第一密封件81，所述第一密封件81设置在所述旋转杆21与所述壳体51的连接位置以密封所述容置空间； 其中，所述容置空间内充斥有气体介质，且所述容置空间内的第一气体压强大于所述壳体51外部的第二气体压强以防止外部气体进入所述容置空间。
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