常州市杰洋精密机械有限公司陈文平获国家专利权
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龙图腾网获悉常州市杰洋精密机械有限公司申请的专利一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422069680.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽是由陈文平设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽，包括反应槽本体，反应槽本体对应多孔进液板上方支撑设有缓流板，缓流板内具有空腔，空腔一端连接有循环液进口管路、另一端连接有循环液出口管路，循环液进口管路和循环液出口管路外接有循环液外腔，循环液外腔内设有调整循环液温度的温控装置。本实用新型结构设计合理，对缓流板进行结构改进，一方面可进一步缓冲制绒液的充入，另一方面在缓流板内部设计腔室，并利用液体流动循环在缓流板处对制绒液进行热交换，即在腐蚀槽内部进行温度控制，可进一步保持反应腐蚀的温度可控性，有效提高了单晶硅片的表面制绒质量，并保证产品质量稳定可靠优异。
本实用新型一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽在权利要求书中公布了：1.一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽，设置在硅片制绒清洗机内，待加工的单晶硅片放置于花篮2内，花篮2携带单晶硅片放入反应腐蚀槽内进行浸泡腐蚀操作，其特征在于：包括反应槽本体1，所述的反应槽本体1底部具有进液口8，所述的进液口8位置处固定有多孔进液板6，所述的反应槽本体1对应多孔进液板6上方支撑设有缓流板5，所述的缓流板5内具有空腔，所述的空腔一端连接有循环液进口管路10、另一端连接有循环液出口管路9，所述的循环液进口管路10和循环液出口管路9外接有循环液外腔，所述的循环液外腔内设有调整循环液温度的温控装置。
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